株式会社セムテックエンジニアリング 1-4 樹脂支柱電子顕微鏡(SEM)写真
- 最終更新日:2022-10-27 13:16:19.0
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基板上にマスクを重ね露光すると樹脂支柱が立ち、メッキすると逆形状の穴ができます
・露光の際に使用するフォトマスクの設計により 任意の穴形状にする事ができます
・フォトマスクを設計の際 光が通過するパターン部をネガにするかポジにするかで 同じ形状の穴になったり微細部品にすることができます
・数10μmの板厚に高精度な微細穴を『狭ピッチで 加工』することは他の工法では不可能です
基本情報1-4 樹脂支柱電子顕微鏡(SEM)写真
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