株式会社イーエッチシー 自動搬送式現像装置 ACT-300A2S
- 最終更新日：2023-06-12 15:50:03.0
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自動搬送式現像装置「ACT-300A2S」は、最大6インチの基板を回転させながらスプレー現像を行う装置です。
現像液2系統、リンス１系統とエアーナイフを装備しタッチパネルよりレシピ設定操作を行い、最大25枚の自動現像処理が可能です。
※自動処理無しの枚葉式タイプもございます。
【主な仕様】
○処理能力：最大6インチ丸基板を25枚連続処理が可能
○プロセス：現像液：2系統、リンス：1系統、エアーナイフ：1系統
○使用薬液類：アルカリ系現像液 脱イオン洗浄水
詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
基本情報自動搬送式現像装置 ACT-300A2S
処理能力 最大６インチ丸基板 ２５枚（専用カセット収納式）
プロセス 現像液 ２系統 （ノズル交換可能）
リンス １系統 エアーナイフ 1系統
使用薬液類 アルカリ系現像液 脱イオン洗浄水
搬送ロボット タツモ社製 センターリングステージにより基板位置精度出し
レシピ １０ステップｘ５０パターン登録可能
処理時間設定 ０．１秒単位
基板回転数 ＡＣサーボモーター制御 ０～３０００ｒｐｍ 精度±２ｒｐｍ以内
装置サイズ Ｗ１１２０×Ｄ９２０×Ｈ１９５０ｍｍ以内 ５００Ｋｇ以下
制御システム ８インチタッチパネル操作
吸着テーブル 白色テフロン製、真空孔吸着型
キャニスター 容量１８Ｌで装置本体とは別置き、残液量はロードセルで検知
現像液制御温度 ２０～３０℃±３℃
ユーティリティ 三相２００Ｖ/３０Ａ 漏電ブレーカー 1系統
真空ポンプ内蔵
エアー ０．５ＭＰａ
窒素 ０．３ＭＰａ
排気 排気口φ７５mm ２系統（電装排気、カップ排気）
現像液廃液 ポリタンク回収又は工場廃液に接続
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カタログ自動搬送式現像装置 ACT-300A2S
取扱企業自動搬送式現像装置 ACT-300A2S
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1.EHCセル 金属成膜基板 各種パターン基板 ・先端材料評価に最適なEHCセル ・金属成膜基板 クシ型電極基板 パターンガラス パターンフィルム 2.小型液晶パネル組立装置 ・小型ラビング装置 ・簡易型ラビング装置 ・加熱型スピンコーター ・卓上型ガラススクライバー ・ガラスブレーカー 3.有機EL評価装置 有機太陽電池評価装置 ・有機ELのLIFE及びIVLを多チャンネルで自動化した評価装置 ・OPV DSSCのIV特性評価装置 4.露光・現像実験装置 ・減圧乾燥装置 ・平行光露光装置 ・自動搬送式現像装置
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