芝浦メカトロニクス株式会社 後酸化式スパッタリング装置

多層の光学薄膜に最適な後酸化式スパッタリング装置です。

特長
■後酸化方式の採用で高生産性を実現
■優れた膜厚均一性±1%以下を実現
■水平基板搬送による全面スパッタが可能

基本情報後酸化式スパッタリング装置

カバーガラス用ARコート、自動車用光学部品に採用されています。
ご要望・ご予算等どうぞお気軽にご相談ください。

※詳しくはカタログをダウンロード、もしくはお問い合わせください。

価格帯 お問い合わせください
納期 お問い合わせください
用途/実績例 ■カバーガラス用ARコート
(スマートフォン、車載ディスプレイ)
■自動車用光学部品
 HUD用増反射ミラー、コンバイナーなど

カタログ後酸化式スパッタリング装置

取扱企業後酸化式スパッタリング装置

芝浦メカトロニクス株式会社

* 半導体製造装置 * FPD製造装置 * 真空応用装置

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