株式会社フィルテック 小型なのに高熱に!高効率小型ガス加熱器『ヒートビームシリンダー』
- 最終更新日:2023-07-04 17:26:34.0
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最高1000℃付近まで温度をあげる事が可能!本体寸法11センチからの小型熱交換器です※デモ機貸し出しOK
『ヒートビームシリンダー』は、小型でありながら、ガスや液体等の流体を
効率よく、瞬時に高温に加熱し、最高1000℃付近まで温度をあげる事が可能です。
クリーンな加熱方法なので、プロセスガスの加熱に適しています。
窒素を加熱して生成した高温N2を半導体製造装置の排気ラインに用いると
反応生成物の付着を防止できます。また水を直接加熱して過熱水蒸気発生装置と
することができ、様々な用途での使用が期待されます。
【特長】
■900℃以上の過熱水蒸気を発生するので広い分野で使用が可能
■コンパクトなサイズだから、ユースポイントの近くで過熱水蒸気を発生できる
■水から直接 過熱水蒸気の生成も可能であり、ボイラーが不要
■自由な配置・組み合わせができるので並列、直列、縦置、横置、装置直結も可能
※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
基本情報小型なのに高熱に!高効率小型ガス加熱器『ヒートビームシリンダー』
【type SS の仕様】
■Body size(mm):104X55X36
■Body weight:0.7kg
■Power:100V 200V, 100W,120W,150W,170W
■Piping(inch):1/4
■Gas example:N2,H2,H2O
■Gas Flow:~40L/min
■Example of temperature(℃) at a flow rate:330@10SLM, 180@20SLM
※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
価格帯 | お問い合わせください |
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納期 | お問い合わせください |
用途/実績例 | 【用途】 ■CVD装置排気配管洗浄 ■過熱水蒸気発生 ■CVD装置チャンバー加熱 ■廃プラスチクス溶融 ■CNTや透明導電膜低温化加熱 ■高効率燃焼 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。 |
カタログ小型なのに高熱に!高効率小型ガス加熱器『ヒートビームシリンダー』
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