株式会社フィルテック  小型なのに高熱に!高効率小型ガス加熱器『ヒートビームシリンダー』

最高1000℃付近まで温度をあげる事が可能!本体寸法11センチからの小型熱交換器です※デモ機貸し出しOK

『ヒートビームシリンダー』は、小型でありながら、ガスや液体等の流体を
効率よく、瞬時に高温に加熱し、最高1000℃付近まで温度をあげる事が可能です。

クリーンな加熱方法なので、プロセスガスの加熱に適しています。

窒素を加熱して生成した高温N2を半導体製造装置の排気ラインに用いると
反応生成物の付着を防止できます。また水を直接加熱して過熱水蒸気発生装置と
することができ、様々な用途での使用が期待されます。

【特長】
■900℃以上の過熱水蒸気を発生するので広い分野で使用が可能
■コンパクトなサイズだから、ユースポイントの近くで過熱水蒸気を発生できる
■水から直接 過熱水蒸気の生成も可能であり、ボイラーが不要
■自由な配置・組み合わせができるので並列、直列、縦置、横置、装置直結も可能

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

基本情報小型なのに高熱に!高効率小型ガス加熱器『ヒートビームシリンダー』

【type SS の仕様】
■Body size(mm):104X55X36
■Body weight:0.7kg
■Power:100V 200V, 100W,120W,150W,170W
■Piping(inch):1/4
■Gas example:N2,H2,H2O
■Gas Flow:~40L/min
■Example of temperature(℃) at a flow rate:330@10SLM, 180@20SLM

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

価格帯 お問い合わせください
納期 お問い合わせください
用途/実績例 【用途】
■CVD装置排気配管洗浄
■過熱水蒸気発生
■CVD装置チャンバー加熱
■廃プラスチクス溶融
■CNTや透明導電膜低温化加熱
■高効率燃焼 

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カタログ小型なのに高熱に!高効率小型ガス加熱器『ヒートビームシリンダー』

取扱企業小型なのに高熱に!高効率小型ガス加熱器『ヒートビームシリンダー』

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■テストウエハソリューション事業 ■熱交換器ヒートビームシリンダー事業 ■コンサルティング事業

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