株式会社エフケー光学研究所 『異物検査装置』

検査不感帯領域を極限まで低減!輝度の小さな異物もとらえます。

当社では、お客様のライン構成に合わせお選びいただけるよう
数種類の『異物検査装置』をご用意しております。

当製品は、他社の異物検査機に比べ検査不感帯領域が大幅に少なく、検出が
広範囲です。

また、カメラ配置及び検査光源に特長があり、輝度の小さな異物も
とらえる事が出来ます。

【特長】
■他社の異物検査機に比べ検査不感帯領域が大幅に少なく検出範囲が広い
■輝度の小さな異物もとらえる事ができる
■多品種の基板に対しても光源波長を切替可能
■検査不感帯領域を極限まで低減できる

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

基本情報『異物検査装置』

【異物検査機の種類】
■検査ステージ上に置かれた基板を複数台のエリアセンサーで検査
 ・エリアタイプ
■検査ステージ上に置かれた基板を異物検査機を移動スキャンさせて検査
 ・スキャンタイプ
■コンベアーで搬送中の基板の表面の異物を検査
 ・コンベアータイプ
 ・裏面異物検査タイプ

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

価格帯 お問い合わせください
納期 お問い合わせください
用途/実績例 【用途】
■露光前の異物検査
■コンベア上ガラス基板の表面及び裏面の異物検査
■ステージ上ガラス基板の表面異物検査

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

カタログ『異物検査装置』

取扱企業『異物検査装置』

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株式会社エフケー光学研究所

透過型位相シフトレーザー顕微干渉計測装置(自社開発製品) レーザー光による非破壊的細胞診断技術開発(公的プロジェクトにかかる技術開発) 液晶基板検査装置 観察/監視工業用ファイバースコープ(特殊環境下用) 観察/計測用光学応用機器 医用光学応用機器 光通信用測定機器 画像処理用レンズ 特定仕様対物レンズ 上記製品にかかわる設計/開発/製造業務 及び付帯する周辺機器等の設計/開発/製造業務 平成29年度埼玉県新技術・製品化開発費補助金 マ八ツェンダ型干渉計を利用した細胞検査装置の製品化開発

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