当社が設計・製造・販売を行っている、大気用高分解能位置決め装置および
真空対応高分解能位置決め装置(フィードバックステージシステム)の総合カタログです。
フィードバックステージ・フィードバックステージコントローラ、
ケーブル、オプションについての仕様・構成・価格などを網羅。
特注品・カスタム品の製作も承っております。お気軽にご相談ください。
【大気用システムの特徴】
リニアスケールを内蔵した小型位置決め装置を開発・製造・販売しております。
半導体関連の装置、通信関連、先端研究の光学系などで使用されています。
【真空対応システムの特徴】
創業以来、特注品の製作で得た真空対応に対するノウハウを元に
真空用途で高分解能及び高精度な再現性をご提供致します。
※「PDFダウンロード」より総合カタログをご覧いただけます。
ご要望などお問い合わせフォームよりお気軽にご連絡ください。
また、下記リンクではカスタム品の製作例を紹介しております。
基本情報フィードバックステージシステム総合カタログ（大気・真空）第5版
◎大気用位置決め装置
自社開発の光学式リニアスケールを搭載したフィードバックステージと、独自の
フィードバック制御機能を有したフィードバックステージコントローラにより、
高分解能・高い繰り返し再現性・高位置保持性を達成した位置決め装置です。
◎真空対応システム
光学式リニアスケールを内蔵したフィードバックステージと、自社独自の
制御回路を搭載したフィードバックステージコントローラとの組合せにより、
真空内でのフルクローズドループ制御を実現しております。
※詳しくはカタログをご覧ください。お問い合わせもお気軽にどうぞ。
| 価格帯 | お問い合わせください |
|---|---|
| 納期 | お問い合わせください |
| 用途／実績例 | 精密な位置決めが必要な研究、開発、検査 光学分野の研究用途 半導体描画装置の試料ステージ 顕微鏡ステージ |
ラインナップ
| 型番 | 概要 |
|---|---|
| FS-1020UPX | 20mmストローク、1nm分解能（内蔵スケール読み値）動作 |
| FS-1020SPX | 20mmストローク、5nm分解能（内蔵スケール読み値）動作 |
| FS-1020PX | 20mmストローク、10nm分解能（内蔵スケール読み値）動作 |
| FS-1020X | 20mmストローク、100nmまたは50nm分解能（内蔵スケール読み値）動作 |
| FC-911 | 1nm分解能フィードバックステージコントローラ |
| FC-611 | 5nm分解能フィードバックステージコントローラ |
| FC-511 | 10nm分解能フィードバックステージコントローラ |
| FC-411 | 50nm分解能フィードバックステージコントローラ |
| FC-111 | 100nm分解能フィードバックステージコントローラ |
カタログフィードバックステージシステム総合カタログ（大気・真空）第5版
取扱企業フィードバックステージシステム総合カタログ（大気・真空）第5版
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■光学基本機器製品 ベース、ホルダー、ステージ他 ■光学素子・薄膜製品 ミラー、ビームスプリッター、フィルター、レンズ、プリズム、ポラライザー、レーザ結晶、非線形結晶、基板、他 ■自動応用製品 自動位置・姿勢決め装置、光計測器・制御装置、計測・制御ソフトウェア ■レーザシプロセッシングしシステム レーザ加工機（集光光学系）、レーザ加工機（すきゃにん光学系）、LED照明装置、レーザダイオード駆動電源 ■医療・バイオ関連製品 光ピンセット・IR-LEGO、顕微鏡用自動ステージ、コアユニット顕微鏡 ■計測・検査・評価 変異センサーユニット、オートフォーカスシステム、ズームマイクロスコープ
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