オールデバイス株式会社 真空圧センサー|高真空度測定用 ピラニ式 真空圧センサー
- 最終更新日：2018-11-14 15:07:16.0
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低電圧駆動で洗浄可能な真空圧センサーです。半導体製造装置向けの高真空度測定用途に適しています。
MEMSピラニ式真空センサー「PVC1000シリーズ」は、超低消費電力、長寿命、最小限のメンテナンス、低コストを実現しつつ、真空測定手段の小型化を実現いたします。
測定範囲 10^-3～30 mmHg 5mmHg以下の範囲で±5%の高精度
湿度: 0~100% (非結露)
温度補正範囲: -40 ～ 125℃
耐久圧力: 27.5Bar
基本情報真空圧センサー|高真空度測定用 ピラニ式 真空圧センサー
特長
・超低消費電力＜5mW
・高速応答速度＜5m秒
・0.1㎤程度のガス量
・低ノイズ
・高解像度
・オンチップ温度検出
・長期安定性
・洗浄可能
| 価格帯 | お問い合わせください |
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| 納期 | お問い合わせください |
| 型番・ブランド名 | ピラニ式真空センサー「PVC1000シリーズ」 |
| 用途／実績例 | 半導体製造装置向けの高真空度測定用途に |
カタログ真空圧センサー|高真空度測定用 ピラニ式 真空圧センサー
取扱企業真空圧センサー|高真空度測定用 ピラニ式 真空圧センサー
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米国オールセンサーズにて製造されるピエゾ抵抗式圧力センサー及びその他提携先メーカーにて製造する各種センサの日本及びアジアパシフィック地域での販売
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