プレシテック・ジャパン株式会社 厚み測定 - 光学センサ『CHRocodile 2ITシリーズ』
- 最終更新日：2022-03-30 14:06:07.0
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プレシテックの2ITシリーズは、分光干渉法を利用した非接触の厚み測定用センサでです。
高速・高精度な厚み測定を得意としており、ウエハ・フィルム・コーティング・エアギャップなどの
厚み測定・検査などに使用されています。
不純物/ドープウエハの測定も可能です。
その他の特長は、幅広い測定範囲 、大きな許容角度、様々な材質に対応できることです。
稼働ステージによるスキャンをせずに、面での測定が可能なエリアスキャナもあります。
半導体製造装置への搭載実績も多数あり、LCD製造装置、フィルムの厚みモニタリング/In-Situ/インライン検査でも使用されています。
また、スタンドアロンなどの卓上機の組み込み用センサとしても利用されています。
【アプリケーション】
ウエハ加工(研磨など）前後、加工中の厚み測定、フィルム/コーティング厚み測定、ガラスウエハ肉厚検査、ＴＴＶ，厚み分布、PCBコーティング厚み、バッテリー用ホイル厚み、ガラス厚み/、エアギャップなど。
基本情報厚み測定 - 光学センサ『CHRocodile 2ITシリーズ』
【製品ラインナップ】
・シングルポイントセンサ (2IT, 2IT-DW, 2IT-RW)
厚み計測用センサで、表面状態、材質によって適切な照明のセンサを選択できます。
ドープウエハの測定では2IT-DWシリーズ、表面の粗いウエハなどでは2IT-RWシリーズが最適です。
最大70kHzの高速測定ができ、薄膜（数um)～厚膜(1260um)まで複数のプローブでカバーできます。
・エリアスキャナセンサ (Flying Spot Scanner)
2軸ガルバノでエリアスキャンができるタイプです。
振動の影響がなく、稼働ステージ不要になります。
φ40, φ80, φ300mmのタイプがあり、最大70kHzの高速測定ができます。
【その他の特長】
■測定レンジ：2IT1000 60μm～8000μm (n=1)
2IT500 35μm～4000μm(n=1)
■分解能：最大1nm(n=1)
■インターフェイス：Ethernet,RS422,アナログ(2ch)
※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
| 価格帯 | お問い合わせください |
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| 納期 | お問い合わせください |
| 用途／実績例 | ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。 【用途・測定項目・メリットなどキーワード】 非接触センサ、光センサ、光学センサ、分光干渉法、厚み、薄膜、厚膜、ギャップ、TTV、計測、測定、検査、高速、高精度、インライン、モニタリング、In-Situ、加工中、加工前後、半導体、ウエハ、Siウエハ、Si, GaAs, InP, SiC, LiNbO3(LN), LiTaO3(LT), GaN, SiP、Al2O3(サファイア）、ガラス、石英ガラス、珪酸ガラス（医療用アンプル）, ディスプレイ向けガラス、医療用バルーン、バリアフィルム、PETフィルム、コート、フィルム、多層フィルム、塗布膜、コンフォーマルコーティング、電極層コーティング、ステントコーティング、ポリイミド、PVB、樹脂材、フラックス、接着剤、絶縁膜、空気層、透明、透明体、簡単 |
カタログ厚み測定 - 光学センサ『CHRocodile 2ITシリーズ』
取扱企業厚み測定 - 光学センサ『CHRocodile 2ITシリーズ』
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■レーザ加工関連 - 加工ヘッド - 溶接ヘッド - プロセスモニター ■光学センサ <距離・形状、厚み測定> ・色収差共焦点 CHRocodileシリーズ - シングルポイント 2S/2SE：高精度 2HS：ハイパワー - デュアルポイント 2DPS - 廉価版シングルポイント C：プローブと一体 Mini：プローブと別体 - ラインセンサ CLS：低クロストークノイズ CLS2.0：長いライン長・広測定範囲 CLS2 PRO：長いライン長・角度許容度高 ・分光干渉CHRocodileシリーズ - シングルポイント 2IT：高精度 2DW：ドープウエハ対応 2RW：粗ウエハ対応 2SX：加工モニタリング用広測定範囲 ・分光干渉センサ用エリアスキャナ Flying Spot Scanner：Φ40～310mm ＊CHRocodileシリーズと組合わせ <厚み測定> レーザーフォトサーマルセンサ Enovasenseセンサ：不透明体の非接触測定
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