プレシテック・ジャパン株式会社厚み測定 - 光学センサ『CHRocodile 2DWシリーズ』

最終更新日：2022-03-30 14:57:12.0
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ドープウエハに適切な光源波長を使用し、難しいドープウエハ厚み測定に対応

『CHRocodile 2DWシリーズ』は、ウエハやコーティングなど材料厚みを非接触測定できる装置です。ドープウエハ測定にも対応でき、インラインでも適用可能で、多くのお客様へ実績があります。サファイア、Si、SiC等の半導体ウェハー厚み測定をはじめ、フイルム、樹脂、ガラス、太陽電池等の厚み測定も可能です。干渉膜厚最大16層まで対応しています。

【特長】
　■幅広い厚み測定範囲、様々な材質に対応
　　　豊富なプローブラインナップで、厚みは薄膜（数um)～厚膜(780um)までカバー。ドープウエハ対応。
　■高分解能（サブミクロン最小1nm）
　■開発コスト低減、開発納期短縮に貢献できる、
　　　装置組込み用のソフト開発キット（DLLなど)も用意
　■半導体業界で豊富な実績

※詳しくは資料をご覧ください。お問い合わせもお気軽にどうぞ。

基本情報厚み測定 - 光学センサ『CHRocodile 2DWシリーズ』

【その他の特長】
■測定レンジ：2DW1000 50μm～8000μm (n=1)　
　　　　　　　2DW500 30μm～4000μm(n=1)
　　　　　　　2DW250 15μm～2000μm(n=1)
■分解能：最大1nm(n=1)
■インターフェイス：Ethernet,RS422,アナログ(2ch)

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

価格帯	お問い合わせください
納期	お問い合わせください
用途／実績例	【用途】 ■Si,GaAs,SiC,サファイア等半導体ウェハー厚み測定　フイルム、樹脂、ガラス、液晶ギャップセル、太陽電池等の　厚み測定やドープウェハー測定 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。【用途・測定項目・メリットなどキーワード】非接触センサ、光センサ、光学センサ、分光干渉法、厚み、薄膜、厚膜、ギャップ、形状、計測、測定、検査、高速、高精度、インライン、モニタリング、In-Situ、加工中、加工前後、研磨、半導体、ウエハ、ウエハ貼あわせ、Siウエハ、Si, GaAs, InP, SiC, LiNbO3(LN), LiTaO3(LT), GaN, SiP、Al2O3(サファイア）、ドープウエハ、不純物ウエハ、透明、透明体、光沢、鏡面、簡単

カタログ厚み測定 - 光学センサ『CHRocodile 2DWシリーズ』

取扱企業厚み測定 - 光学センサ『CHRocodile 2DWシリーズ』

プレシテック・ジャパン株式会社

■レーザ加工関連　- 加工ヘッド　- 溶接ヘッド　- プロセスモニター ■光学センサ <距離・形状、厚み測定> ・色収差共焦点 CHRocodileシリーズ　- シングルポイント　　2S/2SE：高精度　　2HS：ハイパワー　- デュアルポイント　　2DPS 　- 廉価版シングルポイント　　C：プローブと一体　　Mini：プローブと別体　- ラインセンサ　　CLS：低クロストークノイズ　　CLS2.0：長いライン長・広測定範囲　　CLS2 PRO：長いライン長・角度許容度高・分光干渉CHRocodileシリーズ　- シングルポイント　　2IT：高精度　　2DW：ドープウエハ対応　　2RW：粗ウエハ対応　　2SX：加工モニタリング用広測定範囲・分光干渉センサ用エリアスキャナ　　　Flying Spot Scanner：Φ40～310mm 　　　＊CHRocodileシリーズと組合わせ <厚み測定> レーザーフォトサーマルセンサ Enovasenseセンサ：不透明体の非接触測定