『SPM-300シリーズ』は、微少流量での成膜に適した
成膜コーターです。
塗布材料の塗着効率が高く、従来スプレー方式と比較し
1/2に削減、スピン方式と比較すると1/30以下に削減可能です。
常圧環境で塗布成膜するため、真空環境の設備が不要で
高価な真空設備コストを大幅に削減します。
粒径の大きな固形物が混合されている材料が使用可能。
排気、廃液処理が従来システムに比べ最小システムで対応できます。
弱酸性、弱アルカリ性、各種有機溶剤の使用が可能です。
【特長】
■塗布材料の塗着効率が高い
■常圧環境で塗布成膜するため、真空環境の設備が不要
■粒径の大きな固形物が混合されている材料の使用可能
■排気、廃液処理が従来システムに比べ最小システムで対応可能
■弱酸性、弱アルカリ性、各種有機溶剤の使用可能
※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせください。
基本情報液晶レジスト 成膜コーター『SPM-300シリーズ』
【仕様】
■テーブルサイズ:300mm×300mm
■可動範囲:左右400mm×前後450mm×上下120mm
■装置寸法:1000mm(W)×1000mm(D)×1650mm(H)
■装置重量:概略300Kg程度
■液供給方式:シリンジポンプによる液供給システム 1系統 50ml標準
■塗布方法:2流体ノズルによる微粒化噴霧 1個
■制御:主制御にシーケンサ、表示スイッチ類はタッチパネルを使用
・塗布速度:1~500mm/sec
・アトマイズエア流量設定:5~12l/min N2使用可
・薬液流量設定:0.1~10ml/min
■電源:単相AC100V±10% 50/60Hz 1kVA 程度
■排気:チャンパー排気:15m3/min 以上 φ150排気
■吸気:上部に換気雇用不織布フィルタ 設置
■動作エアー:ノズル供給用エアー(N2) 6φチューブ接続 400kPa以上
※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせください。
価格帯 | お問い合わせください |
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納期 | お問い合わせください |
型番・ブランド名 | SPM-300 |
用途/実績例 | 【装置の使用例】 ■自動車:ランプ、フロントガラス、バンパー等 ■レンズ:ハードコート、反射防止膜、防曇膜等 ■太陽電池:TiO2、保護膜、着色膜等 ■化合物半導体:高輝度LED等 ■MEMS:レジスト等 ■液晶:レジスト、ブラックマトリックス、Mgo等 ■有機EL:高分子等 ■プリント基板:鋼膜形成、レジスト、埋め込み、平坦化等 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせください。 |
カタログ液晶レジスト 成膜コーター『SPM-300シリーズ』
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