縦型減圧CVD装置ハイテクノサービス

10種類以上の半導体ガスを自在にコントロール可能！カスタマイズ可能

縦型、枚葉、ウェハーサイズ、ガス種、フットプリントなど多くの使用に対応。汎用性を重視したハイグレード縦型減圧CVD装置です。標準仕様を基にカスタマイズを施し、より安価に製造することも可能です。

【特長】
■スモールフットプリントながらウエハーサイズ3" 6" 8"/inchに対応
■ヒーター昇降機能によりナチュラル酸化を低減
■常温～900℃まで安定した温度コントロールを実現

※詳しくはお問い合わせいただくかPDFをダウンロードしてご覧ください。