MPI Corporation TS150-150mmマニュアル・プローバー
- 最終更新日:2019-02-12 14:32:04.0
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汎用性の高い150mm(6インチ)マニュアル・プローバー
デバイス評価、モデリング、WLR、故障解析、IC設計、MEMSなど幅広いアプリケーションに対応しております。
基本情報TS150-150mmマニュアル・プローバー
TS150は独自のエア・ベアリング・ステージ、プラテン・リフト、高さ調整機構により非常に操作性の良い150mmマニュアル・プローバーとなっております。
測定のご用途に合わせてさまざまなチャック、顕微鏡、ポジショナより構成をご選定いただけます。
日本における代理店:
ベクターセミコン株式会社
東京都荒川区西日暮里2-43-2
TEL 03-5604-1701
FAX 03-5604-1707
価格情報 | 別途お問合せください |
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納期 | お問い合わせください |
型番・ブランド名 | TS150 |
用途/実績例 | 6インチ(150mm)マニュアル・プローバー |
詳細情報TS150-150mmマニュアル・プローバー
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TS150 RFチャック
RFチャックをご選定の場合校正基板を搭載するための補助チャックも付属しています。RFポジショナは最大4台搭載可能です。
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TS150 DCポジショナ
TS150 マニュアル・プローバーにはDCポジショナを最大10台まで搭載可能です。
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エア・ベアリング機構
MPI独自の エア・ベアリング ステージ により片手で簡単にウェハーのXYポジショニングおよびローディングを可能にしました。またXY/Θマイクロメータを搭載することによりさらなる微調整(25x25mm) をすることを可能にしました。
カタログTS150-150mmマニュアル・プローバー
取扱企業TS150-150mmマニュアル・プローバー
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