MPI Corporation TS3000-SE-300mmオートプローバー
- 最終更新日：2019-02-12 14:38:00.0
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デバイスモデリング、RFおよびミリ波測定、WLR、故障解析などオンウェハーの多様なアプリケーションに対応した300mmオート・プローバー
日本における代理店:
ベクターセミコン株式会社
東京都荒川区西日暮里2-43-2
TEL 03-5604-1701
FAX 03-5604-1707
基本情報TS3000-SE-300mmオートプローバー
オンウェハーの多様なアプリケーションに対応
・デバイスモデリング: DC-IV, DC-CV, パルスドIV
・RFおよびミリ波 : 26～110 GHz帯/110 GHz以上
・WLR: 高温/低温/ストレス試験
・故障解析: プローブ・カード/内部ノードテスト
MPI独自ShielDEnvironmentチャンバー
・優れたEMI/RFIシールド、遮光環境により理想的な1/fノイズ測定結果を導き出します
・fAレベルの微小電流測定が可能
・広温度範囲(60℃～300℃)対応
・ウェハーを簡単に前面よりロード可能。自動測定用の側部よりのローダー(プリアライメント)
・Vertical Control Environment (VCE)技術によりプローブ先端を側面から観察することが可能になり、安全なオペレーションが可能
・一体型アクティブ防振機構
・Safety Test Management (STM?)機能によりすべての温度においてウェハーのロード/アンロードを可能に、また露点を自動制御(オプション)
| 価格情報 | 別途お問合せください |
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| 納期 |
お問い合わせください
※別途お問合せください |
| 型番・ブランド名 | TS3000-SE |
| 用途／実績例 | 12インチ(300mm)高性能オート・プローバー |
詳細情報TS3000-SE-300mmオートプローバー
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PRIME温度チャック
チラーのプローバーとの統合によりTS3000シリーズは省スペースな設計で、狭い実験室などでも使用できます。
MPIとERS社が共同設計した300mm温度チャックPRIMEチャックは優れた柔軟性をもち従来の温度チャックに比べ温度が安定するまでの時間が従来の60%まで短くなりました。
さらに優れた電気特性、不活性ガス環境、フィールドアップグレード可能など選定いただくための多くの利点があります。
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ShielDCap(DCポジショナ)
ShielDEnvironmentは、プローバー自身に設置された高性能な環境チャンバーで、超低ノイズ、低キャパシタンス測定に必要なEMIシールド、遮光環境を実現します。
DC/ケルビンポートを最大8ポートまで搭載可能。
ShielDCapは簡単に取り外しができ、さらにEMIシールド対応のプローブ・カード・ホルダにも容易に交換でき、作業効率に貢献します。
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ShildCap(RFポジショナ)
ShielDEnvironmentは、RF4ポートまで搭載可能です。
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ERS社AC３冷却技術を採用
温度チャックはERSが特許を持つERS社AC3 冷却技術を採用しており、ShielDEnvironment内の空気をパージする際、「使用済」ドライエアを利用することにより他社のプローバーと比較して、ドライ・エアの消費量を30～50％も削減することが可能となりました。
カタログTS3000-SE-300mmオートプローバー
取扱企業TS3000-SE-300mmオートプローバー
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MPI Corporationは1995年設立以来、短期間で$160Mの売上を達成 4つの事業部から編制 - Probe Card Technologies - Photonics Automation - Advanced Semiconductor Test (AST) - Thermal Test 企業理念 優れた事業運営– 高品質、納期厳守 優れた製造経験 – 24/7 運用を満足する製品品質 お客様中心主義 – 妥協なしで高い付加価値の提供
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