株式会社国際電気セミコンダクターサービス 高精度・フレキシブル抵抗率測定システム『VR300DSE-2P』
- 最終更新日：2019-01-21 16:53:07.0
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プローブ駆動コントロール機構により、極薄膜、極浅イオン注入層を高精度測定。
『VR300DSE-2P』は、当社のコア技術であるプローブ駆動コントロール
システムにより、シリコンウェーハ、磁性体薄板など導電性試料の抵抗率、
シート抵抗を高精度に測定することを実現したフルオートタイプの
四探針測定器です。
また当社では、全機能搭載モデルの「VR300DSE」や、卓上型モデル
「VR300DE」「VR250」などもご用意しております。
【特長】
■プローブ駆動をレシピにてセットアップ可能
■高スループット化によるCoOの低減
■2ロードポート対応
■プローブ針先端の自動コンディショニング機能搭載
■抵抗率分布の等高線マップ、三次元マップ等を作図可能
※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
基本情報高精度・フレキシブル抵抗率測定システム『VR300DSE-2P』
【その他特長】
■プローブ駆動コントロール機構により、極薄膜、極浅イオン注入層を高精度測定
■SEMI E95準拠の画面により操作性向上
■300mmライン用自動化システム対応
※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
| 価格帯 | お問い合わせください |
|---|---|
| 納期 | お問い合わせください |
| 用途／実績例 | 【アプリケーション】 ■シリコン、ポリシリコン等の材料関連 ■イオン注入、拡散、メタル膜等 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。 |
カタログ高精度・フレキシブル抵抗率測定システム『VR300DSE-2P』
取扱企業高精度・フレキシブル抵抗率測定システム『VR300DSE-2P』
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半導体製造装置、及び関連システムの開発、製作、販売、搬入・セットアップ及び保守。 超音波応用機器などの電子応用機器、及び関連部品の開発、製作並びに販売。 古物品売買事業 以上各号に付帯関連する事業
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