株式会社渡辺商行 超微細欠陥/超視野高速可視化検査装置『WUVシリーズ』

超微細欠陥/超視野高速可視化検査装置『WUVシリーズ』 http://www.ipros.jp/public/product/image/d84/2000423898/IPROS14716871880196262226.jpg 【その他特長】 ■AFMやSEM・SPM・レーザー干渉計などの超狭視野 &高倍率な  低速高性能機器で欠陥検出するのではなく、高速全面可視化し  それら機器と併用することで時短&効率化を実現 ■シリコンウェーハやGaAsウェーハなどの反射系サンプルと  サファイアウェーハやSiCウェーハなどの透過系サンプルの欠陥を  同一機器で検出可能  ※レンズなどの曲面形状対応不可 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。 株式会社渡辺商行 測定・分析 > その他計測器 > その他計測・記録・測定器
シリコンウェーハ上に発生した欠陥を超広視野&リアルタイム可視化。

『W-Scope WUVシリーズ』は、広い視野におけるナノ欠陥・
マイクロ欠陥を即座に検出する超微細欠陥/超視野高速可視化検査装置です。

AFMやSEM・SPM・レーザー干渉計などの超狭視野&高倍率な
低速高性能機器で欠陥検出するのではなく、当製品により
高速全面可視化しそれら機器と併用することで時短&効率化を実現します。

【特長】
■ナノオーダー欠陥を早く、簡単に、広い範囲で可視化
■電子デバイスの高性能化・高品質化改善改良に寄与
■目視検査、目視検査支援光源や光学顕微鏡では発見できなかった
 微細欠陥の検出が可能
■従来は欠陥として捉えていなかった超微細レベルのキズ、表面粗れなどを
 新たに欠陥として扱いが必要になった場合の高精度検出が可能

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

基本情報超微細欠陥/超視野高速可視化検査装置『WUVシリーズ』

【その他特長】
■AFMやSEM・SPM・レーザー干渉計などの超狭視野 &高倍率な
 低速高性能機器で欠陥検出するのではなく、高速全面可視化し
 それら機器と併用することで時短&効率化を実現
■シリコンウェーハやGaAsウェーハなどの反射系サンプルと
 サファイアウェーハやSiCウェーハなどの透過系サンプルの欠陥を
 同一機器で検出可能
 ※レンズなどの曲面形状対応不可

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

価格帯 お問い合わせください
納期 お問い合わせください
用途/実績例 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

カタログ超微細欠陥/超視野高速可視化検査装置『WUVシリーズ』

取扱企業超微細欠陥/超視野高速可視化検査装置『WUVシリーズ』

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株式会社渡辺商行

【関連製造部門】 ・(株)ワコム製作所 石英ガラス製品(ASM Epsilion石英部品、各種加工品)、シリコーンゴム製品、半導体装置用部品、ラッピング・ポリッシング用キャリア ・(株)トムコ フォトマスク洗浄装置、ウエーハ移換機、IPA蒸気乾燥装置、部品再生洗浄、部品加工 ・(株)天谷製作所 常圧CVD装置、MO-CVD装置 【理科医療器材】 旭硝子(株)製品パイレックスガラス製品、組織培養製品、その他理化学機器製品等 【環境関連】 ソーラ用Siウエハ、セパレーター&クリーニングシステム、ワイヤーソークーラント回収システム、酸化セリウム回収システム、スラリーリサイクルシステム、IPAリサイクルシステム、ソーラーシミュレーター、水質分析計、無機系凝集剤オイルフロック 【研究開発部門】 (株)ワコム研究所 MO-CVDによる各種誘電体薄膜の開発 【素材・部品関連】 コバレントマテリアル(株)製品(石英ガラス、SiC、カーボン)、ファインセラミックス、マシナブルセラミックス、各種フィルター、その他半導体装置用消耗部品、シリコーン樹脂、耐火物、各種ヒーター関連、超高圧水銀ランプ

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