アイセル株式会社 半導体製造装置の精密位置決め機構に好適な【Z軸ガイド】

FA装置用Z軸ミリオンガイド『ZGシリーズ』

『ミリオンガイドZGシリーズ』は、転動体にローラーを使用することで剛性を高めたFA装置向けのZ軸ガイド。低予圧・低振動でガタが無く精度も抜群です。

ZGシリーズは高剛性・不回転なため単軸で使用することが可能で、複数軸使用する必要のあるリニアガイドと比較して
省スペース・組立工数の削減・良好な荷重バランスを実現することが可能などのメリットがあります。

【特長】
■ころがり抵抗を極限まで低減
■ガイド単軸での使用ができ、装置の小型化が可能
■組立もカンタン。部材数も抑えてコストダウン
■X・Y繰り返し精度は0.5μm以下を実現
■フルカスタマイズ可能!ブシュ・ポストの特殊形状に対応

※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。

2021年、アイセルは新ブランドへ移行致しました。
詳しくは下記URLよりご覧ください。
www.isel.jp

基本情報半導体製造装置の精密位置決め機構に好適な【Z軸ガイド】

【用途例】
■ボンダー
 ・フリップチップボンダー
 ・ダイボンダー
 ・ワイヤーボンダー
■専用機
 ・穴明け機ヘッド部
 ・昇降ステージ用ガイド
 ・位置決め装置
■実装機
 ・各種実装機ヘッド部
 ・チップピッカー
■加圧装置
 ・圧着装置ヘッド
■検査装置
 ・画像検査装置
 ・顕微鏡   など多数

価格情報 -
納期 お問い合わせください
型番・ブランド名 装置用Z軸多面形ガイド 「ミリオンガイド」
用途/実績例 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。

カタログ半導体製造装置の精密位置決め機構に好適な【Z軸ガイド】

取扱企業半導体製造装置の精密位置決め機構に好適な【Z軸ガイド】

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アイセル株式会社

・パンチンググループ 半導体フィルム・液晶パネル・カード・ラベルなど、さまざまな素材をスムーズに、正確に、そして安全に、切断 ・ベンディンググループ 高速・高精度の塑性加工技術に高度な溶接技術をトータルで提供 ・伝動機器グループ 従来にない使い易さと高効率を実現したカップリングシステム ・メカトログループ 半導体製造機器等ナノオーダーの超精密直動ガイド・高精度サーボプレス ・シャッターグループ 機械カバーの決定版。省スペース、安全性の向上に貢献する機械用としてのマシンシャッター

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