【infiTOFアプリケーション事例】インライン分析カノマックスアナリティカル

高い質量分解能により、高精度な分解・反応およびメカニズムの解明の研究に貢献

高分解能飛行時間型質量分析システム『infiTOF-UHV』の
アプリケーション事例をご紹介いたします。

名古屋大学天野研究室の新田州吾准教授らの研究では、トリメチルガリウムと
アンモニアのMOVPE結晶成長での分解過程や相互反応の解析を行うことにより、
結晶成長メカニズムの解明を進めていますが、従来のモニタリングシステムでは
感度や質量分解能が不十分でした。

そこで当システムをMOVPE反応炉の直後の排気ラインに取り付けて
反応物質を直接モニタ。従来技術で困難だった高精度な分解・反応および
メカニズムの解明の研究に繋げて頂いております。

【分析例】
■MOVPE反応炉中のTMGの分析について、NH2およびCH4をオンラインでモニタ
■装置：高分解能飛行時間型質量分析計　infiTOF-UHV

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

関連リンク - http://www.kanomax.co.jp/product/index_0116.html

基本情報【infiTOFアプリケーション事例】インライン分析

【infiTOFの特長】
■高分解能
■リアルタイム測定が可能な質量分析装置
■より高品質な製品の生産・研究開発をサポート
■可搬型で測定を行いたいピンポイントの場所でモニタリングが可能

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