PIG式 DLCコーティング装置神港精機

優れた膜の密着性と高面圧耐性を実現！スパッタカソードを標準装備しています！

『PIG式 DLC膜形成装置』は、独自開発によるPIGプラズマガンを
採用し、極めて平滑で相手攻撃性の低いDLC膜を高速で形成できる
高密度プラズマCVD装置です。

スパッタカソードを標準装備しており、スパッタ膜との積層構造により
優れた膜の密着性と高面圧耐性を実現しています。

自動車部品の表面処理用途に豊富な実績を持っており、多くの用途に採用。
また新開発のアーク放電式マグネトロンカソードを装備することで
PVDによる硬質膜も形成が可能でき、プラズマCVD＋PVD複合成膜装置への
機能拡張が容易です。

評価をご希望の方はサンプルテストをお受けしております。
その他、仕様詳細や膜質などにつきましてはお問い合わせください。

【特長】
■極めて平滑なDLC膜が形成可能：（Ra＝0.015μm以下）
■成膜レートが早い：（3μm/hr以上）
■低温成膜：（200℃以下）
■厚膜形成可能：（20μm）
■DLC膜の除膜：同一真空槽内でDLCの除膜が可能

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

基本情報PIG式 DLCコーティング装置

【DLC膜の特長】
■摺動部品
・高硬度
・低摩擦係数＝0.1
・低い相手攻撃性
■切削工具、金型
・耐摩耗性
・非溶着性
・ドライ加工
■光学部品
・赤外通過性
・屈折率＝2
・表面平滑性

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型番・ブランド名	ＡＡＰＩＧ－１６１１０ＤＳ
用途／実績例	※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

ラインナップ

型番	概要
ＡＰＩＧ－１０６０ＤＳ	量産タイプの機能をコンパクトな筐体に装備、Ｒ＆Ｄプラス少量生産用の標準タイプ。硬質膜・表面処理用途だけでなく赤外線用光学コーティングにも対応

取扱企業PIG式 DLCコーティング装置

神港精機株式会社東京支店

●装置事業部（成膜装置）・スパッタリング装置・真空蒸着装置・硬質膜形成装置・プラズマCVD装置（プラズマ装置）・エッチング装置・アッシング装置・クリーニング装置（熱処理装置）・真空リフロー装置・プラズマリフロー装置・真空熱処理装置・アニール装置 ●規格品事業部・ドライポンプ・油回転真空ポンプ・水封式真空ポンプ・メカニカルブースタ・真空排気装置・真空計、真空弁、真空部品・精密投影機・特殊光学機器