神港精機株式会社 アーク放電型高真空イオンプレーティング装置

精密工具専用小型装置から大型金型対応の大型量産タイプまで豊富なラインアップ!

『アーク放電型高真空イオンプレーティング装置』は、極めて緻密で平滑な
硬質膜を形成できるイオンプレーティング装置です。

独自方式によりアルゴンガスを不要とした高真空中での成膜を可能とし、
緻密で高い反応膜の形成を可能としました。

チタン系の膜の形成を主体としておりTiCやTiCNなどの高硬度の膜質と膜の
平滑さにより金型の表面処理に好適です。
自動車部品の金型の表面処理用途に豊富な実績を持っています。

システムは基板の大きさ・形状や処理用によって柔軟にカスタマイズ。
精密加工工具専用小型装置から大型金型対応の大型量産タイプまで
豊富なラインアップを揃えています。

【特長】
■放電用ガスが不要
■平滑な硬質膜が形成可能(成膜後の研摩が不要)
■金メッキ代替の装飾膜が形成可能(金色、グレー、ブラウン)
■金属表面処理・硬質膜以外にも実績あり
 (電子部品用、金属膜、酸化物膜、対応可能)

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基本情報アーク放電型高真空イオンプレーティング装置

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カタログアーク放電型高真空イオンプレーティング装置

取扱企業アーク放電型高真空イオンプレーティング装置

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神港精機株式会社 東京支店

●装置事業部 (成膜装置) ・スパッタリング装置 ・真空蒸着装置 ・硬質膜形成装置 ・プラズマCVD装置 (プラズマ装置) ・エッチング装置 ・アッシング装置 ・クリーニング装置 (熱処理装置) ・真空リフロー装置 ・プラズマリフロー装置 ・真空熱処理装置 ・アニール装置 ●規格品事業部 ・ドライポンプ ・油回転真空ポンプ ・水封式真空ポンプ ・メカニカルブースタ ・真空排気装置 ・真空計、真空弁、真空部品 ・精密投影機 ・特殊光学機器

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