ギガフォトン株式会社 エキシマレーザ『GIGANEX』
- 最終更新日：2019-04-17 12:41:14.0
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レーザの用途別にカラーと仕様を分類し、様々なニーズに対応！
『GIGANEX』は、当社が半導体リソグラフィ用光源の
エキシマレーザ製造から得た技術とノウハウを集結した先進のエキシマレーザです。
FPD製造プロセス、フレキシブルデバイス製造プロセス、半導体製造
プロセスなどの応用分野に期待できます。
【特性】
■短波長(248nm・351nm)
■高出力(120W～600W)
■高周波(4000Hz～6000Hz)
※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。
基本情報エキシマレーザ『GIGANEX』
【ラインアップ】
■XeFレーザ仕様
・G120XZ/GT200XZ/GT480XZ
■KrFレーザ仕様
・G200K/G300K/GT600K
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| 価格帯 | お問い合わせください |
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| 納期 | お問い合わせください |
| 用途／実績例 | ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。 |
カタログエキシマレーザ『GIGANEX』
取扱企業エキシマレーザ『GIGANEX』
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■半導体リソグラフィ用、その他用エキシマレーザ及び 極端紫外線光源(EUV)の開発・製造・販売
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