高分解能飛行時間型質量分析装置『infiTOF-UHV』カノマックスアナリティカル

小型でありながら高い質量分解能を達成！小型・軽量・省電力で場所を選ばない。

infiTOF　＝　infinity (無限大)＋TOF-MS（飛行時間型質量分析計）
　理論上、飛行距離が無限大のマルチターン技術を元に製品化されたTOF-MS（飛行時間型質量分析計）と、英語の"infinity" (無限大)から名付けられました。

infiTOFは、飛行経路を手のひらサイズの周回軌道（マルチターン）とすることでコンパクトボディを実現できたからこそ、測定現場に持ち込んで、オンサイトかつリアルタイム測定を行うことができます。
また、マルチターン飛行時間型を採用したことから長い飛行距離を得て、高分解能、精密質量測定ができます。

【特長】
■コンパクトボディ
■排気系など全ての機構を一つの筺体に収めたので、設置場所を選ばない
■電子イオン化低分子領域の分析において必要十分な分解能30,000（FWHM）を達成
■今まで普及機や小型機では不可能であった精密質量による構造解析が可能
■低質量域の測定が可能
■水素、ヘリウムのような低質量ガスおよびその同位体を精密質量で
　測定することが可能

※詳細はPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

関連リンク - http://www.kanomax.co.jp/product/index_0116.html

基本情報高分解能飛行時間型質量分析装置『infiTOF-UHV』

【仕様(抜粋)】
■分解能：≧30,000(FWHM)
■質量範囲：m/z1～1,000
■イオン化方式：電子イオン化(EI)
■イオン極性：正イオン(Pos)
■質量精度
　・≦0.002u(内部標準法)
　・≦0.005u(外部標準法)

他のTOFMSでは困難な低質量域の測定が可能です。
水素、ヘリウムのような低質量ガス及びその同位体を精密質量で測定ができます。

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

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用途／実績例	【用途】 ■半導体プロセスガス分析：半導体プロセスチャンバー内での反応生成物のモニタリング ■ガス中不純物分析　・半導体製造ガスなどの腐食性ガス中の不純物物分析　・純ガス・バルクガス中のppm以下の不純物分析 ■燃焼ガス分析：燃焼炉等のプロセス解析の為のモニタリング等 ■材料分析：炭素材料、有機材料、無機材料等の脱離ガスの精密質量分析、昇温脱離一質量分析 (TPD-MS) ■発生ガス分析：リチウムイオン電池、燃料電池等の発生ガス分析による劣化や反応解析 ■同位体分析：重水素 (D) 炭素 13(C) などの同位体を含む化合物の測定 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。