アステック株式会社 高性能水晶発振式プロセスモニター『QPM60』

蒸着装置を作っているメーカー様へ! コストパフォーマンス抜群!0.01ヘルツの高分解能測定が可能!

『QPM60』は、薄膜蒸着プロセスにおける蒸着レートおよび膜厚を
高精度に測定するマルチチャンネル蒸着モニターです。

タッチスクリーンディスプレイは、直観的な操作を可能にし
膜厚や蒸着レートのグラフを表示。

標準で2つのセンサー入力があり、最大4つのセンサー入力を
オプションで追加出来ます。

また個々のセンサー入力は、異なる材料に割り当てられる他、
1つの材料に対し複数のセンサーを用いて平均化します。

4つのリレー出力は、ソースまたはセンサーのシャッター、トリガ時間と膜厚設定点、
およびクリスタルの故障を制御することが可能です。

【特長】
■低価格で高いコストパフォーマンス
■0.01ヘルツの高分解能
■膜厚分解能 0.012オングストローム
■デジタル入力は、外部信号による成膜の開始/停止と
 読み取り値をゼロにすることが可能

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

基本情報高性能水晶発振式プロセスモニター『QPM60』

【仕様(抜粋)】
■センサー入力数:2ch 標準、4ch/6ch オプション ※外部発信器使用
■周波数:4.5~6.5MHz
■周波数分解能:0.01Hz
■周波数安定度:2ppm
■測定間隔:0.1~2sec
■測定フィルタリング:1-20
■膜厚分解能:0.012Å 
■フィルム数:99

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価格帯 お問い合わせください
納期 お問い合わせください
用途/実績例 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

カタログ高性能水晶発振式プロセスモニター『QPM60』

取扱企業高性能水晶発振式プロセスモニター『QPM60』

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アステック株式会社

【東京本社】 応用科学事業部 TEL:03-3366-0811 科学計測事業部 TEL:03-3366-0818 電子応用事業部 TEL:03-3366-0813 半 導 体事業部 TEL:03-3367-8921 【大阪営業所】TEL06-6375-5852

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