ウシオライティング株式会社 レジスト塗布装置 『スリットコータ』

レジスト塗布装置 『スリットコータ』 https://www.ipros.jp/public/product/image/124/2000446971/IPROS88009847215813396351.jpeg 基本仕様 品名:スリットコータ ワーク:ガラス基板 他 (ご相談ください) サイズ:500×500(±0.1mm) 厚み:0.3~1.1mm 適合レジスト:ネガレジスト、ポジレジスト、Ag(特殊ノズル) 粘度:1~200 cps (ご相談ください) 塗布仕様 膜厚:0.5~10μm(Dry)/ 10~100μm(Wet) 塗布エリア:基板端面から2mm内側 塗布精度:±5% (基板端面から10mm内側) ウシオライティング株式会社 製造・加工機械 > 半導体製造装置 > コーター スリットコータ
スリットノズル式で薬剤使用量を大幅削減。ワイヤリフト搬送式なので薄型ガラス基板でも安心です。

当社独自の塗布システムの採用により、幅広い粘度の塗布材料に対応、高精度な塗布膜均一性を実現したコーティング装置です。
小ロット、多品種から量産への対応も可能です。

●ランニングコスト低減
薬剤使用料を大幅に削減できます。

●省スペース、メンテナンス性向上
オリジナル構造のコンパクト設計により、フットプリントが小さくなります。またノズル脱着が簡単で、メンテナンス性を高めています。

●自動搬送対応
ロボットやコンベアを用いた自動搬送化に対応しています。
(オプション)

●ワイヤーリフト
従来の上下ピン搬送式では、高速上昇による基板破損が懸念され、搬送速度の高速化が困難でしたが、ワイヤーリフトにより、リフトアップ動作時間の大幅短縮が可能になります。
特に薄型ガラス基板では、ワイヤーリフトの性能が発揮されます。

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基本情報レジスト塗布装置 『スリットコータ』

基本仕様
品名:スリットコータ
ワーク:ガラス基板 他 (ご相談ください)
サイズ:500×500(±0.1mm)
厚み:0.3~1.1mm
適合レジスト:ネガレジスト、ポジレジスト、Ag(特殊ノズル)
粘度:1~200 cps (ご相談ください)

塗布仕様
膜厚:0.5~10μm(Dry)/ 10~100μm(Wet)
塗布エリア:基板端面から2mm内側
塗布精度:±5% (基板端面から10mm内側)

価格帯 お問い合わせください
納期 お問い合わせください
型番・ブランド名 スリットコータ
用途/実績例 ・大学、研究開発機関、材料開発、光学部品
・電子デバイス、半導体、液晶

詳細情報レジスト塗布装置 『スリットコータ』

寸法図

仕様

カタログレジスト塗布装置 『スリットコータ』

取扱企業レジスト塗布装置 『スリットコータ』

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ウシオライティング株式会社

一般照明、特殊照明・ランプでは、LED電球・ライト、ステージ・スタジオ・演出照明用ランプから、検査・特殊照明用ランプ、投光器、赤外線ヒータ、セキュリティ用赤外線LED照明、植物育成用LED照明などにより、ユーザが必要とする「光」に対して、最適なランプ、光源で応えます。 産業システム・機器では、露光装置をはじめとする「光」を応用した製品、射出成形機、プラスチック関連機器・素材、継手、チューブなど広範なプラスチック関連製品、各種ロボット、自動組み立て機、ストローアプリケータ、外観検査装置などのFA・食品・包装関連システムの販売をつうじて、ユーザが抱える問題に対して、最適なソリューションを提供します。

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