『研究開発用真空蒸着装置』は、
大学・公的研究機関や基礎実験用に適した小型蒸着装置シリーズです。
コンパクトな筐体に電子蒸発源を標準装備した前扉型と全手動で抵抗加熱源を
基本構成とした簡易実験型の2機種をラインアップしています。
両機種（前扉型・簡易実験型）とも目的・コストに合わせて柔軟な
仕様対応が可能。デモ機を常設し、サンプルテスト対応いたします。
【特長】
■実績豊富なハードと柔軟なコスト対応
■目的に合わせた豊富なオプション機構(高温加熱・基板冷却・多元同時蒸着・
有機物用蒸発源 リフトオフプロセス対応）
■プラズマ電極・RFコイルなどのイオン化機構・プラズマ電極追加対応
■サンプルテストからハードのカスタマイズ、納入後のフォローまで
一貫した顧客対応
※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
基本情報研究開発用真空蒸着装置
【その他の特長】
■コンパクトな筐体に電子蒸発源を標準装備した前扉型
・電子銃蒸発源により酸化膜や高融点金属の成膜に対応
・本格的な薄膜デバイスの研究開発・試作が可能
・複数タイプのイオンプレーティング機構も装備可能
・半導体・電子デバイスから新素材・表面処理用途まで幅広い用途で実績豊富
■全手動で抵抗加熱源を基本構成とした簡易実験型
・基板の高温加熱機構や水冷機構、またはリフトオフプロセス対応など
豊富なオプションをご用意
※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
| 価格帯 | お問い合わせください |
|---|---|
| 納期 | お問い合わせください |
| 用途／実績例 | 【用途】 ■大学・公的研究機関や基礎実験用 など ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。 |
カタログ研究開発用真空蒸着装置
取扱企業研究開発用真空蒸着装置
-
-
●装置事業部 （成膜装置） ・スパッタリング装置 ・真空蒸着装置 ・硬質膜形成装置 ・プラズマCVD装置 （プラズマ装置） ・エッチング装置 ・アッシング装置 ・クリーニング装置 （熱処理装置） ・真空リフロー装置 ・プラズマリフロー装置 ・真空熱処理装置 ・アニール装置 ●規格品事業部 ・ドライポンプ ・油回転真空ポンプ ・水封式真空ポンプ ・メカニカルブースタ ・真空排気装置 ・真空計、真空弁、真空部品 ・精密投影機 ・特殊光学機器
研究開発用真空蒸着装置へのお問い合わせ
お問い合わせ内容をご記入ください。
