当製品は、基礎研究から先端プロセスの開発までカバーする
シンプルでコストパフォーマンスの高いスパッタリング装置です。
全手動化し低コスト化したバッチタイプと手動搬送機構を装備した
簡易ロードロックタイプの2機種をラインアップ。両機種とも上位機種の
プロセス性能を維持した上で、大きなコスト低減を実現しています。
サンプルテスト・仕様対応・納入後のフォローまで一貫して丁寧な対応を
行っています。
【特長】
■リーズナブルなコストと高いプロセス性能
■少量生産にも対応可能な高い信頼性
■豊富な実績に支えられた豊富なオプション類と柔軟なハード対応
■先端分野の薄膜開発にロードロック機構と事前成膜テストで
プロセス開発をサポート
■デモ機を常設し、サンプルテスト対応可能
※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
基本情報簡易実験用スパッタリング装置
【その他の特長】
■バッチタイプ
・全手動化し低コスト化
・小型基板での少量生産に充分なプロセス性能を実現
・ハードの信頼性と膜質の安定性を実現
■簡易ロードロックタイプ
・手動搬送機構を装備
・クリーンで高い真空性能
・均一な膜厚・プラズマ・加熱分布性能
・高結晶性窒化膜(AlN)や高反射率金属膜の形成が可能
・紫外ＬＥＤ用ＡｌＮテンプレート作成
※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
| 価格情報 | 御問合せ下さい。 |
|---|---|
| 納期 |
お問い合わせください
※御問合せ下さい。 |
| 用途／実績例 | 【用途】 化合物半導体電極・絶縁膜形成。紫外線ＬＥＤ用ＡｌＮテンプレート作成 小型電子デバイス各種薄膜形成 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。 |
カタログ簡易実験用スパッタリング装置
取扱企業簡易実験用スパッタリング装置
-
-
●装置事業部 （成膜装置） ・スパッタリング装置 ・真空蒸着装置 ・硬質膜形成装置 ・プラズマCVD装置 （プラズマ装置） ・エッチング装置 ・アッシング装置 ・クリーニング装置 （熱処理装置） ・真空リフロー装置 ・プラズマリフロー装置 ・真空熱処理装置 ・アニール装置 ●規格品事業部 ・ドライポンプ ・油回転真空ポンプ ・水封式真空ポンプ ・メカニカルブースタ ・真空排気装置 ・真空計、真空弁、真空部品 ・精密投影機 ・特殊光学機器
簡易実験用スパッタリング装置へのお問い合わせ
お問い合わせ内容をご記入ください。
