微細ウェハバンプのフラックスレスリフロー装置 サンプルテスト対応 省エネ・短タクトプロセスを実現 リフロー動画掲載
高密度プラズマ（SWP）による強還元性H2ラジカルによりフラックスフリーのバンプリフローを実現。
フラックスの塗布・洗浄工程を削減。リフロー前後のウェット工程を削減。ウェット装置のスペース・処理・ユーティリティーを削減する省エネ・省スペース・クリーンプロセス。
３００ｍｍウェハ対応の処理ステージによる最先端量産プロセスをバッチタイプのハードで小径基板のニッチデバイスに対応
短タクトのバッチ処理で多品種少量生産やR&D用途に対応
関連動画バッチタイププラズマリフロー装置（フラックスリフロー）
基本情報バッチタイププラズマリフロー装置（フラックスリフロー）
φ３００ｍｍウェハ対応のバッチタイプ
表面波プラズマ（SWP）による高密度ダメージフリーラジカル処理
急速昇降温型ホットプレート装備
真空プロセスによるボイドレスバンプを実現
オプションでレジストアッシングに対応
サンプルテスト対応中
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| 型番・ブランド名 | バッチタイププラズマリフロー装置 |
| 用途／実績例 | 化合物ICウェハバンプリフロー MEMSデバイスバンプリフロー 光デバイス（LED,LD、受光素子）バンプリフロー 光モジュールバンプリフロー |
ラインナップ
| 型番 | 概要 |
|---|---|
| ＣｔｏＣタイプ | 量産対応プラズマリフロー装置 |
カタログバッチタイププラズマリフロー装置（フラックスリフロー）
取扱企業バッチタイププラズマリフロー装置（フラックスリフロー）
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●装置事業部 （成膜装置） ・スパッタリング装置 ・真空蒸着装置 ・硬質膜形成装置 ・プラズマCVD装置 （プラズマ装置） ・エッチング装置 ・アッシング装置 ・クリーニング装置 （熱処理装置） ・真空リフロー装置 ・プラズマリフロー装置 ・真空熱処理装置 ・アニール装置 ●規格品事業部 ・ドライポンプ ・油回転真空ポンプ ・水封式真空ポンプ ・メカニカルブースタ ・真空排気装置 ・真空計、真空弁、真空部品 ・精密投影機 ・特殊光学機器
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