日本インテグリス合同会社 3D NAND ソリューション
- 最終更新日：2019-07-05 16:45:40.0
- 印刷用ページ
3次元の垂直積層型メモリ構造は、フラッシュメモリのストレージを指数関数的に向上させますが、デバイス製造や集積において基本的な新たな課題も生じます。 これらの課題は、設計から供給、材料のハンドリング、製造、出荷に至るまで、フラッシュメモリの生産にかかわるすべての側面に影響します。
このような課題は、64層の垂直構造から96層、128層になるにつれより深刻になります。
インテグリスは、3D NANDにおける課題の多くを理解し、理想的なソリューションを提供します。
【製品ソリューション（抜粋）】
＜材料の清浄性と性能＞
■溶剤用ピューリファイヤー Purasol (ピュラソル) SP/SN
■フォトケミカル用フィルター Microgard (マイクロガード)/Oktolex (オクトレックス)
＜深いエッチング構造＞
■IntelliGen (インテリジェン) 2ステージ ディスペンス システム
■Impact (インパクト) フィルター
■NOWPak (ナウパック) キャニスタ システム
※詳しくは外部リンクをご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
基本情報3D NAND ソリューション
【その他の製品ソリューション】
＜最上層から最下層までの一貫性＞
■特殊配合のエッチング液
＜Qタイムにおける不具合の回避＞
■Spectra (スペクトラ) EBM FOUP
※詳しくは外部リンクをご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
| 価格帯 | お問い合わせください |
|---|---|
| 納期 | お問い合わせください |
| 用途／実績例 | ※詳しくは外部リンクをご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。 |
取扱企業3D NAND ソリューション
-
-
液体・ガスの精密ろ過／精製製品：フィルター、ピューリファイヤー、ガス精製システム。 ガスシリンダー製品：イオン注入プロセス用ガスシリンダー。 液体の移送製品：バルブ、継手、サニタリー配管部品、薬液容器・送液システム。 液体の制御／管理製品：ディスペンスシステム、流量コントローラ、流量計、濃度計、溶存酸素濃度計、個数カウント式粒度分布測定器、ゼータ電位測定器、薬液濃度モニタリングシステム。 デバイスの保護／搬送関連製品：ウェーハ／ディスクシッパー、ウェーハ／ディスクキャリア、ウェーハ／レチクルポッド、チップトレー。 特殊材料関連製品：高純度グラファイト、シリコンカーバイト、PVDコーティング（イットリア、アルミナ等）、 PECVDコーティング（シリコン、SiC、DLC等）。 表面処理材料・部材関連製品：CMP後洗浄用薬液、エッチング後洗浄用薬液、ダマシンプロセス用銅めっき液、CMPスラリー、CMP後洗浄用ブラシ、CMP用パッドコンディショナー。 先端成膜材料製品：各種絶縁膜材料、有機金属材料、High-k材料、固体成膜材料容器、液体材料供給システム 上記製品の開発、販売、サービス。
3D NAND ソリューションへのお問い合わせ
お問い合わせ内容をご記入ください。
