枚葉式プラズマリフロー装置（フラックスレスリフロー）テスト受付中神港精機

フラックスレスウェハバンプリフロー装置。微細バンプのリフローをウェットレスで実現　サンプルデモ対応　リフロー動画掲載

ダメージフリーのダウンフロー型表面波プラズマの強還元性Ｈ２ラジカル雰囲気でフラックスレスリフロー　フラックス塗布、洗浄工程　塗布装置、洗浄装置を削減。完全ドライＣｔｏＣシステム。ファインピッチバンプの短タクトリフロープロセスを実現。

基本情報枚葉式プラズマリフロー装置（フラックスレスリフロー）テスト受付中

チャージアップダメージフリープロセス。
信頼性の高い安定した搬送機構
均一な温度分布による３００ｍｍウェハ面内のリフロー温度プロファイル
３００ｍｍウェハの本格量産ラインに対応。各種上位通信、ＳＭＩＦポッド等規格対応。
テストから設計、納入、立上まで一貫したチームサポート

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型番・ブランド名	ＣｔｏＣタイププラズマリフロー装置
用途／実績例	ウェハバンプリフロー大型基板上微細バンプリフロー３００ｍｍウェハ枚葉式低温アニール

ラインナップ

型番	概要
バッチタイププラズマリフロー装置	３００ｍｍウェハ対応のバッチタイプ　最先端プロセスをニッチデバイスに展開。Ｒ＆Ｄおよび少量生産用

詳細情報枚葉式プラズマリフロー装置（フラックスレスリフロー）テスト受付中

: プラズマリフロー装置工程削減効果イラスト

: 印刷バンプ対応イラスト

カタログ枚葉式プラズマリフロー装置（フラックスレスリフロー）テスト受付中

取扱企業枚葉式プラズマリフロー装置（フラックスレスリフロー）テスト受付中

神港精機株式会社東京支店

●装置事業部（成膜装置）・スパッタリング装置・真空蒸着装置・硬質膜形成装置・プラズマCVD装置（プラズマ装置）・エッチング装置・アッシング装置・クリーニング装置（熱処理装置）・真空リフロー装置・プラズマリフロー装置・真空熱処理装置・アニール装置 ●規格品事業部・ドライポンプ・油回転真空ポンプ・水封式真空ポンプ・メカニカルブースタ・真空排気装置・真空計、真空弁、真空部品・精密投影機・特殊光学機器