結晶欠陥検出装置フォトルミネッセンスイメージング装置西華デジタルイメージ

ウエハの全面測定での欠陥検出に

フォトルミネッセンス画像と分光情報の同時取得可能な画期的な製品

関連リンク - https://www.seika-di.com/manufacture/plimage.html

基本情報結晶欠陥検出装置フォトルミネッセンスイメージング装置

フォトルミネッセンス法（Photo Luminescence）とは分光測定法の一種で、検査対象に光やレーザー等を照射したときに、検査対象が光子（Photon）を吸収した後に再発光する現象を観察する手法です。フォトルミネッセンスイメージング装置は、高い解像度でフォトルミネッセンス画像（PL画像）を取得するだけではなく、分光情報も得られます。そのため半導体ウエハの結晶欠陥の位置を確認することが可能です。装置はエントリーモデルから、ウエハの全面測定やカラーフォトルミネッセンス画像、量産工程用のモデルなど各種モデルをラインナップしております。

価格帯	お問い合わせください
納期	お問い合わせください
用途／実績例	半導体結晶欠陥

カタログ結晶欠陥検出装置フォトルミネッセンスイメージング装置

半導体関連製品

PDFダウンロード

取扱企業結晶欠陥検出装置フォトルミネッセンスイメージング装置

西華デジタルイメージ株式会社

粒子計測事業 (レーザー回折式粒度分布計FLD、位相ドップラー式粒子解析計PDI、画像法による粒子解析システム) 流体・燃焼計測事業 (流速計測システムPIV、LDV、表面圧力計測 PS、燃焼計測システムLIF) 素材計測事業 (非接触歪み・変位計測システム DIC、薄膜・多孔質素材評価装置ポロメーター、ナノ領域力学試験機ナノインデンター、電顕用デジタルカメラ、ブリネル硬度計)