プラズマ処理効果の評価ツール(インジケータ)をマンガで解説サクラクレパス

プラズマ処理効果の可視化により簡単・短時間に多項目の評価を実現。マンガ資料を全編まとめてプレゼント＜サンプル進呈＞

照射されたプラズマの処理条件に応じて連続的に変色する、
プラズマ処理効果の評価ツール(プラズマインジケータ)「PLAZMARK」を
マンガでわかりやすく解説した冊子を進呈中！

使い方や仕組み、一般的な評価方法との違いのほか、
常圧処理工程・洗浄工程向け、実装工程・後工程向け、デスミア処理向け、
高温プロセス向け、ウエハプロセス向けなど豊富なラインアップも紹介しています。

★本マンガ資料はダウンロードボタンよりすぐにご覧いただけます。

【「PLAZMARK」の特長】
■「色」で簡単に評価が可能。面内分布評価が容易
■高額な設備が不要。評価時間の短縮を実現
■機差や均一性をチェックして効率をアップ。品質安定に貢献

※製品について詳しくは資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせください。
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基本情報プラズマ処理効果の評価ツール(インジケータ)をマンガで解説

【プラズマ見える化で確認できる項目】
◎プラズマ処理効果の確認
　・正常状態の確認
　・再現性の確認
　・装置管理
◎面内分布の確認
　・プラズマの均一性・分布の確認
　・異常放電検知
　・3次元形状での効果確認
◎プラズマの広がりの確認
　・プラズマ閉じ込め効果の確認
　・周辺部材への影響確認
◎装置間の性能差の確認
　・同型処理、同一プロセス装置の処理効果のバラツキ確認

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