稼働に排出されるCO2の削減に大きく貢献！超コンパクトなクリーンロボット
『AR1300-220』は、超コンパクト、軽量化した
卓上型シングルアームクリーンロボットです。
従来のソータや検査装置などの搬送システムを卓上システムとして構築可能。
コントローラ小型化のため、モータドライバをロボット底部に収納できます。
【特長】
■モータドライバをロボット底部に収納可能
■稼働に排出されるCO2の削減に大きく貢献
■基板保持：ウェハを真空吸着
■各種センサ装備
■エンコーダ付2相パルスモータ装備
■RS232Cによる専用コマンド制御
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基本情報卓上型シングルアームクリーンロボット『AR1300-220』
【仕様(抜粋)】
■アーム
・動作範囲：300mm
・搬送速度：300mm/0.8sec
・分解能：19.69μm
■旋回
・動作範囲：340度
・搬送速度：180度/0.8sec
・分解能：0.0068度
■上下
・動作範囲：220mm
・搬送速度：220mm/0.8sec
・分解能：13.13μm
■被搬送物：200mm ウェハ
■繰返し精度：±0.2mm 以内
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| 価格帯 | お問い合わせください |
|---|---|
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| 用途／実績例 | 【用途】 ■LED/MEMS/パワーデバイス分野 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。 |
カタログ卓上型シングルアームクリーンロボット『AR1300-220』
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