低消費電力100W以下!搬送アームには独自の小型軽量多段スライド方式を採用
『AR2300-220』は、従来のクリーンロボットと同様の機能を装備した
卓上タイプのウェハー搬送装置です。
搬送アームには独自の小型軽量多段スライド方式を採用。
旋回、上下軸の軽量化により簡単な構造となり、従来比1/3以下の
質量を実現します。
【特長】
■従来比1/3以下の質量を実現
■クリーン対策:下部カバー側面から吸引する独自構造
■低消費電力100W以下を達成
■RS232Cによる専用コマンド制御
■エンコーダ付2相パルスモータ装備
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基本情報卓上型ダブルアームクリーンロボット『AR2300-220』
【仕様(抜粋)】
■アーム
・動作範囲:300mm
・搬送速度:300mm/1.0sec
・分解能:22.5μm
■旋回
・動作範囲:340度
・搬送速度:180度/0.8sec
・分解能:0.0073度
■上下
・動作範囲:220mm
・搬送速度:220mm/0.8sec
・分解能:15.00μm
■被搬送物:φ76.2mm、φ100mm ウェハ
■繰返し精度:±0.2mm 以内
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価格帯 | お問い合わせください |
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納期 | お問い合わせください |
用途/実績例 | 【用途】 ■LED/MEMS/パワーデバイス分野 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。 |
カタログ卓上型ダブルアームクリーンロボット『AR2300-220』
取扱企業卓上型ダブルアームクリーンロボット『AR2300-220』
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