アテル株式会社 直動式ダブルアームクリーンロボット『HR81315-1900』

高剛性設計によりガラス基板を高速搬送!ISOクラス2のクリーンロボット

『HR81315-1900』は、全軸ABSエンコーダACサーボモータ仕様の
直動式ダブルアームクリーンロボットです。

高剛性設計によりガラス基板を高速搬送。
CFRPフォーク上面に滑り止めパッドを貼り付けてガラス基板を保持します。

また、250℃耐熱性CFRPフォークを採用しています。

【特長】
■各種センサ装備
■全軸ABSエンコーダACサーボモータ仕様
■RS232Cによる専用コマンド制御
■基板保持:CFRPフォーク上面に滑り止めパッドを貼り付けてガラス基板を保持
■フォーク:250℃耐熱性CFRPフォーク

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

基本情報直動式ダブルアームクリーンロボット『HR81315-1900』

【仕様】
■アーム
 ・動作範囲:1315mm
 ・搬送速度:1315mm/1.3sec
 ・分解能:0.1mm以下
■旋回
 ・動作範囲:310度
 ・搬送速度:180度/2.5sec
 ・分解能:0.001度
■上下
 ・動作範囲:1900mm
 ・搬送速度:1900mm/2.0sec
 ・分解能:0.1mm以下
■被搬送物:750×650 厚さ0.4mmガラス基板
■繰返し精度:±0.2mm 以内
■クリーン度:ISOクラス2

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

価格帯 お問い合わせください
納期 お問い合わせください
用途/実績例 【用途】
■FPD分野

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カタログ直動式ダブルアームクリーンロボット『HR81315-1900』

取扱企業直動式ダブルアームクリーンロボット『HR81315-1900』

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アテル株式会社

■半導体、液晶基板搬送装置等精密機器、検査装置の開発及び設計、製造、販売 ■電子回路の研究開発及び設計、製造、販売 ■エレクトロニクス関連装置の開発及び設計、製造、販売 ■各種機械部品の設計、製造、販売  上記に関する技術コンサルタント業務  上記に附帯関連する一切の事業 ■発電事業および電気の販売

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