高剛性設計により第3世代のガラス基板を高速搬送！ダブルアームクリーンロボット
『LR31000-600』は、コンパクトボディ、ロングストロークの
直動式ダブルアームクリーンロボットです。
高剛性設計により第3世代のガラス基板を高速で搬送。
横スライド軸と簡単にドッキングできる設計です。
スライド軸は、インクリメンタルエンコーダ仕様でサーボモータ制御可能です。
【特長】
■コンパクトボディ、ロングストローク
■横スライド軸と簡単にドッキングできる設計
■スライド軸：インクリメンタルエンコーダ仕様サーボモータ制御可能
■エンコーダ付2相パルスモータ装備
※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
基本情報直動式ダブルアームクリーンロボット『LR31000-600』
【仕様】
■アーム
・動作範囲：1000mm
・搬送速度：1000mm/1.2sec
・分解能：10.2539μm
■旋回
・動作範囲：330度
・搬送速度：180度/1.4sec
・分解能：0.0028度
■上下
・動作範囲：600mm
・搬送速度：600mm/2.0sec
・分解能：5μm
■被搬送物：24インチ 1.1厚さ ガラス基板
■繰返し精度：±0.1mm 以内
■クリーン度：ISOクラス2
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| 価格帯 | お問い合わせください |
|---|---|
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| 用途／実績例 | 【用途】 ■FPD分野 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。 |
カタログ直動式ダブルアームクリーンロボット『LR31000-600』
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