真空シールには接触式シール方式を使用したシングルアームクリーンロボット
『EV2250』は、真空シールには接触式シール方式を使用した
平行リンク式シングルアームクリーンロボットです。
アーム部はアルピカ処理済み。
エンコーダ付2相パルスモータを装備しているほか、RS232C通信制御、
パラレルI/O制御が可能です。
【特長】
■耐熱使用：アームにリフレクタ(熱反射板)の設置
■アーム部はアルピカ処理済
■エンコーダ付2相パルスモータ装備
■RS232C通信制御
■パラレルI/O制御
※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
基本情報平行リンク式シングルアームクリーンロボット『EV2250』
【仕様】
■アーム
・動作範囲：453mm
・搬送速度：453mm/1.5sec
・分解能：40.90615mm以下
■旋回
・動作範囲：330度
・搬送速度：180度/2.0sec
・分解能：0.0046875度
■被搬送物：□125mm 石英基板
■繰返し精度：±0.1mm 以内
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| 価格帯 | お問い合わせください |
|---|---|
| 納期 | お問い合わせください |
| 用途／実績例 | 【用途】 ■半導体分野 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。 |
カタログ平行リンク式シングルアームクリーンロボット『EV2250』
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