テフロンコーティングで高剛性アーム仕様！ハンド部に透過式マッピングセンサ装備
『WR2154-300』は、防水対応のダブルアームクリーンロボットです。
取付フランジより上部のアーム部はIP64の規格に適合。
ハンド部は垂直/水平仕様の駆動が可能な透過式マッピングセンサを
装備しています。
また、ロータリ及びクランプユニットの搭載が可能です。
【特長】
■アーム部：テフロンコーティング 高剛性アーム仕様
■ロータリ及びクランプユニットの搭載可能
■ウェハ保持：セラミックスチャックによる真空吸着
■エンコーダ付2相パルスモータ装備
■制御：RS232C通信制御またはパラレルI/O制御
※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
基本情報防水対応ダブルアームクリーンロボット『WR2154-300』
【仕様】
■アーム
・動作範囲：前進508mm、後進108mm
・搬送速度：508mm/0.9sec
・分解能：15μm以下
■旋回
・動作範囲：330度
・搬送速度：180度/0.9sec
・分解能：0.00359度
■上下
・動作範囲：300mm
・搬送速度：300mm/1.0sec
・分解能：5μm
■被搬送物：6、8、12インチ シリコンウェハ
■繰返し精度：±0.1mm 以内
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| 価格帯 | お問い合わせください |
|---|---|
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| 用途／実績例 | 【用途】 ■半導体分野 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。 |
カタログ防水対応ダブルアームクリーンロボット『WR2154-300』
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