クランプハンド用制御ラインを装備!ロボット+スライダシステム
『SSR1160+S2244-S001』は、リンク式シングルアームロボットと
スライダからなるシステムです。
クランプハンド用制御ラインを装備。
前後方向の端面をクランプし、基板を保持します。
全軸エンコーダ付2相パルスモータを装備しています。
【特長】
■基板保持:前後方向の端面をクランプ
■全軸エンコーダ付2相パルスモータ装備
■各種センサ装備
■RS232C制御又はパラレルI/O制御
※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
基本情報システム『SSR1160+S2244-S001』
【仕様】
■アーム
・動作範囲:513mm
・搬送速度:513mm/1.2sec
・分解能:15μm以下
■旋回
・動作範囲:330度
・搬送速度:180度/1.0sec
・分解能:0.00359度
■上下
・動作範囲:330mm
・搬送速度:330mm/1.2sec
・分解能:5μm
■スライダ
・動作範囲:2244mm
・搬送速度:2244mm/3.5sec
・分解能:12.5μm
■被搬送物:150×150×6.35t ガラス基板、150×150×3.0t ガラス基板
■繰返し精度:±0.1mm 以内
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カタログシステム『SSR1160+S2244-S001』
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