研究開発用スパッタリング装置神港精機

コンパクト・ローコスト・充実機能、研究開発用ローコストスパッタリング装置サンプルテスト＆装置見学対応中

少量生産対応可能な上位機種の能力を手動操作型の簡易実験機で実現
８インチ対応の多元高周波スパッタリング装置。高速排気と高いプロセス性能によりＭＥＭＳ・化合物半導体・電子デバイスの基礎研究に対応
電子部品の量産対応実績を持つバッチタイプスパッタリング装置シリーズ

特設サイト

基本情報研究開発用スパッタリング装置

標準仕様
４インチカソード３元装備による多層成膜
ターボ分子ポンプ＋油回転ポンプの高速排気
逆スパッタと基板加熱機構の標準装備による高い膜質の実現
１ｍ□のコンパクトな筐体に多機能を実現
上位機種の各部ユニットを搭載可能

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型番・ブランド名	ＳＲＶ４３２０型
用途／実績例	大学・研究機関による研究開発用途バイオセンサー、電極、絶縁膜形成抵抗器、電極、絶縁膜、薄膜抵抗作成各種素子絶縁膜形成

ラインナップ

型番	概要
ＳＲＶ３１００型	カソード１元の最もシンプルな実験用小型スパッタリング装置　小型・コンパクト　低コスト　基礎実験用の標準機種

カタログ研究開発用スパッタリング装置

取扱企業研究開発用スパッタリング装置

神港精機株式会社東京支店

●装置事業部（成膜装置）・スパッタリング装置・真空蒸着装置・硬質膜形成装置・プラズマCVD装置（プラズマ装置）・エッチング装置・アッシング装置・クリーニング装置（熱処理装置）・真空リフロー装置・プラズマリフロー装置・真空熱処理装置・アニール装置 ●規格品事業部・ドライポンプ・油回転真空ポンプ・水封式真空ポンプ・メカニカルブースタ・真空排気装置・真空計、真空弁、真空部品・精密投影機・特殊光学機器