インラインコーティングシステム（FCVA）株式会社ナノフィルムテクノロジーズ　ジャパン

スパッタとの組み合わせも可能！大量生産に適したインライン式FCVA装置

当社の『インラインコーティングシステム（FCVA）』をご紹介します。

大量生産に適したインライン式FCVA装置。
チャンバー数を任意に選定可能です。

また、スパッタとの組み合わせも可能。

ヒーター、イオンビームによる基板クリーニング機構です。

【特長】
■FCVAとスパッタを装備
■ヒーター、イオンビームによる基板クリーニング機構
■DC、MF、RFのスパッタ電源が選択可能
■自公転タイプサンプルフォルダー
■チャンバー数を任意に選定可能
■最大基板サイズ：φ900mm x 500mm(H)

※詳しくは、お気軽にお問い合わせ下さい。

関連リンク - http://www.nanofilm.co.jp/

基本情報インラインコーティングシステム（FCVA）

※詳しくは、お気軽にお問い合わせ下さい。

価格帯	お問い合わせください
納期	お問い合わせください
用途／実績例	【用途】 ■DLC(TAC)膜 ■金属膜 ■金属膜 / DLC(TAC)積層膜 ■セラミック膜 ※詳しくは、お気軽にお問い合わせ下さい。

お問い合わせ

取扱企業インラインコーティングシステム（FCVA）

株式会社ナノフィルムテクノロジーズ　ジャパン

株式会社ナノフィルムテクノロジーズジャパンは、シンガポールに本社をおく、ナノフィルムテクノロジーズインターナショナル社（NTI）の日本法人です。本社社長のDr.Shiは、1999年にFCVA方式（*1）の商業化に成功しNTI社を設立、新しい真空成膜技術による、スーパーDLC（水素基フリーのta-C膜）、Micc膜、各種金属膜を提供しています。