低温ヒーターを使用しているので寿命は半永久的でヒーター交換不要！
『EHS型超純水加熱インラインヒーター』は、接液部には全てPFAを
使用したフッ素樹脂製の半導体用インダインヒーターです。
不純物の溶出がなく、低温設計ヒーターなので長寿命です。
また、コンパクトなので設置も容易に行えます。
【特長】
■フッ酸水の使用可
■常用最高使用圧力は0.4MPa
■常用最高使用温度は150℃
■ヒーター保護機能つき
■リモート制御が可能
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基本情報ヒーター『EHS型超純水加熱インラインヒーター』
【標準仕様】
■ヒーター容量：25KW～150KW（AC200V、3φ）
■液温度：Max.90℃
■温度制御：PID制御
■温度精度：±1℃（流量一定の時）
■リモート制御：外部信号で操作用インターフェース有り
■圧力：0.4MPa
■主要材質
・接液部：PFA
・他の主要部：SUS304
■接続方法：チューブ（3/4"）
■保護及び警報：
・水温過熱用
・ヒーター過熱
・流量異常
・漏水検知
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| 価格帯 | お問い合わせください |
|---|---|
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