東京電子株式会社 極高真空(XHV)製品『魔法のニップル/キューブ/チャンバー』

0.2%BeCu合金製で低ガス放出化を実現

『魔法のニップル/キューブ/チャンバー』は素材にBeCu合金を使用することで
従来の真空系を構成するステンレススチールに代わり、内壁からのガス放出を
大幅に低減する新たな真空構造材です。

BeCu合金は、輻射率が低く、熱伝導率に優れるため、わずかに吸収した熱も速やかに拡散し、
温度上昇を抑えることでガス放出スピードを1/10以下に低減することが出来ます。

★12月11日(水)より、「SEMICON Japan 2019」に出展します!

【特長】
■真空系のガス放出を大幅に低減
■到達真空を改善
■銅表面はNiP不動態化
■300℃までのベーキングに対応可能
■銅ガスケットを使用可能

※詳しくはPDFダウンロードより資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合せください。

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基本情報極高真空(XHV)製品『魔法のニップル/キューブ/チャンバー』

当社では、この他にも「極高真空計 3B-Gauge」「超低ガス放出残留ガス分析計 WATMASS」など
極高真空製品を多数取り扱っています。

【SEMICON Japan 2019 概要】
会期:2019年12月11日(水)~13日(金)
会場:東京ビッグサイト 西展示棟・南展示棟・会議棟
小間番号:5237

※詳しくは、お気軽にお問い合わせください。

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カタログ極高真空(XHV)製品『魔法のニップル/キューブ/チャンバー』

取扱企業極高真空(XHV)製品『魔法のニップル/キューブ/チャンバー』

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