6.8インチSEMI規格ウェハ対応！基本移載パターンが選択できる装置をご紹介
当製品は、カセットが通常ピッチカセットと2倍ピッチカセットに対応可能で相互間で移し替えることができる装置です。基本移載パターンは、同一スロット移載、スロット上下逆転移載、指定スロット移載などが選択可能。また、オプションとして、スロット指定レシピやウェハIDリーダーの搭載も可能です。
【特長】
■6.8インチSEMI規格ウェハ対応
■カセットは通常ピッチカセットと2倍ピッチカセットに対応可能
■相互間で移し替えることができる
■スロット指定レシピやウェハIDリーダーの搭載も可能(オプション)
※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
基本情報卓上式ウェハ移載装置
【装備】
■ロボット
■アライナ
■2サイズ兼用カセットステージ2ポート
■制御機器(基本移載ソフト含む)
※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
| 価格帯 | お問い合わせください |
|---|---|
| 納期 | お問い合わせください |
| 用途／実績例 | ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。 |
カタログ卓上式ウェハ移載装置
取扱企業卓上式ウェハ移載装置
卓上式ウェハ移載装置へのお問い合わせ
お問い合わせ内容をご記入ください。
