アトナープ株式会社 小型質量分析装置『AMS1000』※アプリケーションノート進呈

小型質量分析装置『AMS1000』※アプリケーションノート進呈 https://www.ipros.jp/public/product/image/e1a/2000482844/IPROS83163256294381111157.png 【AMS1000の特長】 ■差動排気システムが不要で省スペース ■立ち上がり時間がわずか5分 ※詳しくは資料をご覧ください。お問い合わせもお気軽にどうぞ。 アトナープ株式会社 測定・分析 > 分析機器 > 分析機器・装置
半導体製造、製薬分野で活躍。高圧下のガスを精度よくモニタリング。デモ機貸し出しOK

『AMS1000』は、センサやポンプなどがパッケージ化された、
コンパクトな質量分析装置です。

大気圧からサンプリング可能です。
Webブラウザベースのソフトウェアを採用するなど、
使いやすさを考慮した設計で、高圧領域のガスのモニタリングに適しています。

【アプリケーション例】
◎半導体製造
 エッチング:装置に直接設置し、エッチングプロセスの終点を検出
 スパッタリング成膜:酸素分圧の上昇を観察し、酸化物成膜の開始時期を決定
◎製薬
 凍結・乾燥:一次・二次乾燥工程中の水や窒素のモニタリング、シリコンオイルの検出
 
※「PDFダウンロード」から詳しい内容をご覧いただけます。

★デモ機をご希望の方は、「お問い合わせ」からお申し込みください。
 (受付期間:2019年12月2日~2020年3月31日)

基本情報小型質量分析装置『AMS1000』※アプリケーションノート進呈

【AMS1000の特長】
■差動排気システムが不要で省スペース
■立ち上がり時間がわずか5分

※詳しくは資料をご覧ください。お問い合わせもお気軽にどうぞ。

価格帯 お問い合わせください
納期 お問い合わせください
用途/実績例 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

カタログ小型質量分析装置『AMS1000』※アプリケーションノート進呈

取扱企業小型質量分析装置『AMS1000』※アプリケーションノート進呈

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■半導体・天然ガス・医薬品業界における機器の開発・製造・販売 ■医療業界におけるシステムの開発・提供

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