蒸着源はボートタイプ！基板は支柱上のプレートに取付けられており高さは任意に変更可能
『2次元抵抗加熱蒸着装置』は、簡単に2つの材料を抵抗加熱により蒸着出来る
装置です。
蒸着源はボートタイプで、基板は支柱上のプレートに取付けられており、
高さは任意に変更可能。
排気系は、DPとRPを併用しておりますので、短時間で高真空が得られます。
【特長】
■SUS製上チャンバーには、CF70ポートが2式、50φの窓が2式、
又下チャンバーはCF70ポートが6式標準装備されている
■上チャンバーは電動にて上下する機構を有している
■標準で膜厚計を装備するとともに、ガス雰囲気にする事も可能
■2元の材料を簡単に蒸着出来る
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基本情報2次元抵抗加熱蒸着装置
【仕様】
■SUSチャンバー
■到達圧力 7×10^-2Pa
■基板ホルダー φ1インチ
■抵抗加熱蒸着源 Wボートタイプ 2基
■DP1500L/s
■RP220L/m
■ピラニー真空計 電離真空計 標準装備
■シャッター機構
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