マール・ジャパン株式会社 高分解能で極小部位を高速測定、微小なキズを検出【測定事例集進呈】
- 最終更新日:2022-08-08 17:16:35.0
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MarSurf CLは、形状測定やキズの検出にかかる時間を大幅に短縮でき、全数検査も実現可能です。
高分解能で、微小なキズの検出や極小部位の測定に好適。
192本のプロフィールを取得するクロマチックラインセンサーCLが
非接触での平面の高速測定を可能にします。
★電子部品・半導体の測定事例を掲載した資料を進呈中!PDFダウンロードよりご覧下さい
■測定部品例 - □評価項目例
■ウエハー -バンプ - □断面粗さ(R/2D) □形状・寸法 □ステップハイト □3D高さ・2Dサイズ
■マイクロビア - □ステップハイト □断面粗さ(R/2D)
■ワイヤーボンディング - □ステップハイト(ループ高さ) □トポグラフィーレイヤー □形状
■表面実装部品 - □位置度、寸法 □ステップハイト
■ダイアタッチ - □3D画像 □厚さ、高さ □最大高さ □サイズ □表面粗さ(S/3D)<ISO 25178準拠> □形状(高さ、輪郭) □ステップハイト
■フィルム - □厚み
■携帯電話用スピーカー - □表面粗さ(S/3D)<ISO 25178準拠>、平坦度
■ウエハ― - □研磨 □反り
基本情報高分解能で極小部位を高速測定、微小なキズを検出【測定事例集進呈】
【MarSurf CLの特長】
◎192本のプロフィール取得が可能な「クロマチックラインセンサーCL」による高速非接触測定
→平面の高速測定に好適。100×100mmを最短1分で測定!広範囲の測定にも。
→光沢面、透明な表面も測定可能。
→測定対象物にキズをつけない非接触測定。
◎Z方向0.02μm、X方向1μmの高分解能
→微小なキズの検出や極小部位の測定に対応。
◎ロングストロークのXY電動テーブル、グラナイト製ベースを採用
→さまざまな形状・大きさの測定物に。大型・重い測定物にも対応。
※テクニカルデータなど詳細は製品カタログをご覧ください。
※PDFダウンロード時に表示される『興味を持ったきっかけ』の欄は株式会社イプロスのAIによって表示されております。
価格帯 | お問い合わせください |
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納期 |
お問い合わせください
※納期についてはお問い合わせください。 |
型番・ブランド名 | 光学式 3D表面形状測定機 / MarSurf CL |
用途/実績例 | 【導入実績】 ・自動車部品 ・電子部品/半導体 ・鉄鋼 ・切削工具 ・太陽光パネル ・医療用高精密部品 ・レンズ ・印刷 【評価項目例 3D/2D】 ・輪郭 ・真直度 ・断面積 ・層厚 ・反り/平坦度 ・形状 ・体積/摩耗 ・表面粗さ(R) ・断面粗さ(S) ※当社ではお客様のニーズに応じたソリューション提案も行っています。 製品・部品の形状測定でお困りの方はお気軽にご相談ください。 |
ラインナップ
型番 | 概要 |
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MarSurf CL |
カタログ高分解能で極小部位を高速測定、微小なキズを検出【測定事例集進呈】
取扱企業高分解能で極小部位を高速測定、微小なキズを検出【測定事例集進呈】
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製造業向け精密測定機器の製造・販売・メンテナンス 【主力製品群】 ■測定ステーション■ ◇ギヤ用 全自動 表面粗さ/歯車測定機 ◇レンズ用 表面形状/3D測定機 ◇シャフト/円筒形状用 形状測定機 ◇真円度・形状・表面粗さ(・三次元)統合測定機 ◇表面粗さ・形状測定機 ◇3D表面形状測定機(センサー/共焦点顕微鏡) ◇校正用 横型万能測長機 ◇ダイヤルゲージ用 全自動検査機 ◇ブロックゲージ用 検査機 ■測定基準ゲージ■ ◇ブロック/リング/ディスク/ピンゲージ ■ハンドツール■ ◇ポータブル型表面粗さ計 ◇高さ/長さ測定機 ◇電気マイクロメータ&測定プロ―ブ ◇指示式測定器 -- 汎用(内径外径)/小外径用 -- スナップゲージ/ネジスナップゲージ/ボアゲージ ◇ワイヤレスデジタル及びアナログ測定工具 -- ノギス/デプスゲージ/マイクロメータ -- インジケータ/ダイヤルゲージ/コンパレータ ◇デジタル及びアナログ -- テストインジケータ/3Dプローブ ◇測定スタンド ◇ハンドツール用測定ソフトウエア -- 測定データ転送用/汎用測定用
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