シンプル コンパクト 高機能 実験、基礎研究に最適 ユーザーニーズに応じた柔軟にカスタマイズ 標準型蒸着装置
基礎研究に求められる性能・コスト・技術サポートを全てカバー 個別要求に応じてカスタマイズに対応。
基本情報簡易実験用蒸着装置（ＥＭ－６４５型）
標準２元の抵抗加熱蒸発源を装備した全手動型蒸着装置。
Φ２～３インチウェハから特殊基板まで柔軟に対応。
蒸発源追加、同時蒸着、基板冷却・高温加熱機構等豊富なオプション
社内デモ機にてサンプルテスト対応
| 価格情報 | お問合せ下さい。 |
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| 型番・ブランド名 | ＥＭ－６４５Ｓ型 |
| 用途／実績例 | 大学・公的研究機関での研究用 化合物半導体研究開発 金属表面処理 電子材料研究 |
ラインナップ
| 型番 | 概要 |
|---|---|
| AMF-850SPB型 | 電子銃を装備し高融点金属や酸化膜の成膜にも対応した研究開発用の前扉型の蒸着装置です。豊富な実績があり安定した成膜性能と共に豊富なオプション機構より柔軟なカスタマイズ対応が特徴です。 |
カタログ簡易実験用蒸着装置（ＥＭ－６４５型）
取扱企業簡易実験用蒸着装置（ＥＭ－６４５型）
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●装置事業部 （成膜装置） ・スパッタリング装置 ・真空蒸着装置 ・硬質膜形成装置 ・プラズマCVD装置 （プラズマ装置） ・エッチング装置 ・アッシング装置 ・クリーニング装置 （熱処理装置） ・真空リフロー装置 ・プラズマリフロー装置 ・真空熱処理装置 ・アニール装置 ●規格品事業部 ・ドライポンプ ・油回転真空ポンプ ・水封式真空ポンプ ・メカニカルブースタ ・真空排気装置 ・真空計、真空弁、真空部品 ・精密投影機 ・特殊光学機器
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