12インチ対応ウェハーワックス貼付装置『TEC-1001MB』くまさんメディクス

化合物半導体ウェハーなど、様々なワークに対応可能です！

『TEC-1001MB』は、高品質な研削・研磨工程を実現する
ウェハーワックス貼り付け専用の装置です。

ウェハーの特性に合わせ、圧力や温度、時間の条件設定が可能で、
デバイスへのダメージも抑制できます。

加熱・冷却機構の適正化と高剛性な機構設計により、均一な温度分布や
安定した荷重分布を実現し、精度悪化に影響するワックス厚みムラの発生を防ぎます。

【特長】
■ウェハーの特性に合わせ、圧力や温度、時間の条件設定が可能
■デバイスへのダメージも抑制できる
■均一な温度分布や安定した荷重分布を実現
■精度悪化に影響するワックス厚みムラの発生を防ぐ
■12インチウェハー対応

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

関連リンク - https://ksmedix.com/product/tec1001mb

基本情報12インチ対応ウェハーワックス貼付装置『TEC-1001MB』

【主要仕様】
■ウェハーワックス貼り付け部
・貼付対応プレートサイズ：φ180～φ320mm、厚さ5～30mm
・加熱/冷却設定温度範囲：周囲温度～160℃
・設定単位：1℃
・温度分布精度：±5℃以内
・温調精度：±3℃以内
■ウェハー加圧部
・設定単位：1kPa
・最大圧力：300kPa

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取扱企業12インチ対応ウェハーワックス貼付装置『TEC-1001MB』

株式会社くまさんメディクス MPSD事業部　大津第1工場

【事業部】 ■半導体技術部　・前工程用半導体製造装置の保守・移設・立上・改造・解体・廃棄、半導体製造装置中古機の販売 ■MPSD事業部　・半導体製造装置の設計・製造・設置、ハーネス製作、制御盤製作 ■営業部　・省力化装置、治具の開発・製造販売(リードフレームカウンター/PKGズレ測定機/PKG打抜き治具/その他、個別仕様製品)