株式会社インターテックエンジニアリング 裏面アライメントシステム(IRAS)
- 最終更新日：2020-01-24 11:43:13.0
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ミラープロジェクションマスクアライナー、コンタクトアライナーで両面露光を可能にするユニット
『裏面アライメントシステム(IRAS)』は、MPA、PLAに搭載する事により、
ウェハーの裏面をアライメントできるユニットです。
MPA、PLAを裏面露光装置として使用する為に製作。
新規で裏面露光装置のご購入を考えているユーザー様に適しています。
ご要望の際はお気軽に、お問い合わせください。
【概要】
■主要追加部品
・マスクアライメント用CCDカメラ
・ウェハー裏面アライメント用近赤外線CCDカメラ
・画像解析用モニター＆パソコン
・裏面カメラユニットステージ
・その他
■対応機種：MPA600Series、PLASeries
■設置期間：1.5週間
■近赤外線仕様もあります
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基本情報裏面アライメントシステム(IRAS)
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| 価格帯 | お問い合わせください |
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カタログ裏面アライメントシステム(IRAS)
取扱企業裏面アライメントシステム(IRAS)
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