コールドカソード減速イオン銃『OMI0750シリーズ』オメガトロン

高精度減速型多段レンズにより、高電流密度の低速イオンビームを照射可能

当製品は、超高真空において使用可能なビームエネルギー10eVから3000eVの
減速型コールドカソードイオン銃です。

効率よくイオンを引き出し、高精度減速型多段レンズにより、高電流密度の
低速イオンビームを照射可能です。

フィラメントがない構造は反応性ガスを使用可能となっており、長寿命の
為メンテナンスサイクルを短くすることが可能。整備性に優れた新設計
ディスチャージチャンバーを採用しております。

また高効率差動排気設計によりメインチャンバーを超高真空度に保ちます。

【特長】
■減速型コールドカソードイオン銃
■高電流密度の低速イオンビームを照射可能
■フィラメントがない構造は反応性ガスを使用できる
■長寿命の為メンテナンスサイクルを短くすることが可能
■整備性に優れた新設計ディスチャージチャンバーを採用

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

関連リンク - http://www.omegatron.co.jp/product/696.html

基本情報コールドカソード減速イオン銃『OMI0750シリーズ』

【仕様】
■ビームエネルギー：10eV～3000eV
■ビーム電流：20nA～1.9μA
■ビーム径（半値幅）：φ0.15 mm～φ5mm
■最大平均電流密度：6.94mA/cm2
■最低動作圧力：5.5×10^-6Pa 以下
＊メインチャンバーのベース圧：1.87×10^-6Pa ノンベークにて
＊差動排気1か所にTMP50L/s1台で引いた場合
■差動排気ポート：ICF70
■イオン化ガス：Ar、He、窒素、酸素、水素、
　(SiF4、HC等反応性ガスの場合ご相談ください）

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

価格帯	お問い合わせください
納期	お問い合わせください
用途／実績例	【用途】 ■イオンビームスパッタ ■表面ソフトランディング（酸素等） ■低エネルギークリーニング ■絶縁物クリーニング ■燃料電池（窒素ドープ等） ■低速イオン散乱分光（He） ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

取扱企業コールドカソード減速イオン銃『OMI0750シリーズ』

株式会社オメガトロン

・イオン銃、電子銃の設計製作・イオン・電子ビームの輸送系、中和器の設計製作・特殊加熱冷却装置、分析装置、検出器類の設計製作・電子ビーム溶接加工品電子銃・イオン銃はもちろん、真空チャンバー等の周辺機器も電子・イオン・放射線の振舞いを考慮した設計で対応いたします。弊社オリジナルのアイデアと技術を生かした、国公立研究機関との共同研究開発も豊富です。（JSTさきがけ、モデル化、イノベーション等）