FOUPロードポート『TAS300』 TDK | イプロスものづくり

長時間のドア開閉繰返し動作でも安定した高性能を発揮！優れた耐久性のロードポート

『TAS300』は、各種半導体製造装置に取り付けられ、半導体製造工程にて
使用されるFOUP（FrontOpening Unified Pod）を自動的に開閉するための
標準ロードポートです。

半導体製造装置に要求される低発塵性、高スループット、及び
繰り返し動作の耐久性について、最高クラスの性能を有しています。

可動部は、マッピングユニットを含め全てウエハ面下方にあり、徹底した
気流解析により高レベルのパーティクルフリーを実現します。

【特長】
■個別調整をする事なく多種多様なFOUPの確実開閉が可能
■マッピングユニット（透過型センサ）をオプションにて取り付け可能
■長時間のドア開閉繰返し動作でも安定した高性能を発揮する優れた耐久性
■FOUPドック時の障害物検出機能を搭載
■FOUP在荷時のFOUP有無、及び正常載置検出機能を搭載
■ロードポートの脱着時間短縮のため、BOLTS面に位置決め機構を搭載

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

関連リンク - http://www.tdk.co.jp/index2.htm

基本情報FOUPロードポート『TAS300』

【仕様(抜粋)】
■対象FOUP
・Entegris：F300 Auto Pod・A300-G3・SPECTRA
・信越ポリマー：FOUP 300E・FOUP 300EX
・ミライアル：KT-3003
・大日商事：SF300-02
・その他：SEMI E47.1、及びE62 に準拠する300mmFOUP
■外形寸法・重量
・全高：1,386mm
・全幅：472mm
・奥行：493mm（BOLTS 面より）
・重量：30kg（各種オプションを含まず）

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